Diagnostyka procesu CVD metodą optycznej spektroskopii emisyjnej

• Autorzy: Wroczyński P. , Gnyba M. , Bogdanowicz R.

Warianty tytułu

EN

Diagnostics of CVD process by means of optical spectroscopy

• Konferencja: Konferencja "Technologia Elektronowa" ELTE '2004 (8 ; 19-22.04.2004, Stare Jabłonki, Polska)
• Języki publikacji: PL

Abstrakty

PL

Zastosowano optyczną spektroskopię emisyjną do badania w trybie in-situ dysocjacji cząsteczek oraz wzbudzenia i jonizacji atomów wodoru podczas procesu syntezy cienkich warstw diamentowych metodą chemicznego osadzania par gazowych, wspomaganego plazmą mikrofalową (uPACVD).Tor światłowodowy umożliwia sprzęgnięcie komory CVD z systemem spektroskopowym i wykonywanie pomiarów bezinwazyjnych. Wykonano pomiary spektralne w zakresie światła widzialnego - bliskiej podczerwieni i zbadano zależność natężenia linii serii Balmera od parametrów procesu technologicznego.

EN

Optical Emission Spectroscopy (OES) was applied to in-situ investigation of hydrogen exciatation and ionization degree during Microwave Plasma Assisted Chemical Vapour Deposition (uPACVD) of thin diamond films. Fibre optic coupling between CVD chamber and spectroscopic system enables remote, non-invasive process monitoring. Authors made measurements in VIS-near UV range, thus investigating intensity of hydrogen lines assigned to Balmer serie as a function of CVD pocess parameters.

Słowa kluczowe

PL

optyczna spektroskopia emisyjna; CVD; monitorowanie procesu

EN

optical emission spectroscopy; CVD; process monitoring

• Wydawca: Wydawnictwo SIGMA-NOT
• Czasopismo: Elektronika : konstrukcje, technologie, zastosowania
• Rocznik: 2004
• Tom: Vol. 45, nr 10
• Strony: 17--18
• Opis fizyczny: Bibliogr. 2 poz.

Twórcy

autor

Wroczyński P.

autor

Gnyba M.

autor

Bogdanowicz R.

• Politechnika Gdańska, Wydział Elektroniki Telekomunikacji i Informatyki

Bibliografia

• [1] Wroczyński P., Herman A.: Rola jonów wodorowych w procesie syntezy warstw diamentowych. KBN raport no 3 P407 081 06, 1996.
• [2] Barrow G. M.: Wstęp do spektroskopii molekularnej. Wydawnictwo Naukowe PWN, Warszawa, 1968.