Scalone czujniki małych drgań

• Autorzy: Szaniawski K. , Napieralski A.
• Języki publikacji: PL
• Wydawca: Wydawnictwo SIGMA-NOT
• Czasopismo: Elektronizacja : podzespoły i zastosowania elektroniki
• Rocznik: 2002
• Tom: nr 11
• Strony: 25--29
• Opis fizyczny: Bibliogr. 9 poz., rys.

Twórcy

autor

Szaniawski K.

• Politechnika Łódzka, Katedra Mikroelektroniki i Technik Informatycznych

autor

Napieralski A.

• Politechnika Łódzka, Katedra Mikroelektroniki i Technik Informatycznych

Bibliografia

• 1. Szaniawski K., Napieralski A.: An Approach to Design a Silicon, Low-g Microaccelerometer for Turbogenerator Vibration Measurement. 8th MIXDES Conference, Zakopane 2001, s. 99-104.
• 2. Szaniawski K., Romiński A.: A Capacitive Low-g Surface-Micro- machined Microaccelerometer with Frequency Modulation and Digital Readout. 9th MIXDES Conference, Wrocław 2002, s. 213-216.
• 3. Pawłowski A., Szaniawski K., Napieralski A.: Design of Mixed-Signal Microsystems for Measurement and Processing. 9th MIXDES Conference, Wrocław 2002, s. 261-264.
• 4. Maluf N.: An Introduction to Micromechanical Systems Engineering. Artech House, Boston 2000.
• 5. Park K. Y., Lee C. W., Jang H. S., Oh Y., Ha B.: Capacitive type surface-micromachined silicon accelerometer with stiffness turning capability. Sensors and Actuators A (Physical) 73, 1999, s. 109-116.
• 6. Peiner E., Scholz D., Fricke K., Schlachetzki A., Hauptmann P.: Microelectromechanical Vibration Sensor with Optical Interconnects. Journal of Microelectromechanical Systems, vol. 7 no. 1, March 1998, s. 56-61.
• 7. Chau K. H. L., Lewis S. R., Zhao Y., Howe R. T., Bart S. F., Marcheselli R. G.: An integrated force-balanced capacitive accelerometer for low-g applications. Sensors and Actuators A 54, 1996, s. 472-476.
• 8. Hashimoto M.: A 3-Axis Silicon Piezoresistive Accelerometer. Fujikura Ltd., Sensors February 1999.
• 9. Baranowski J., Czajkowski G.: Układy elektroniczne cz. II: Układy analogowe nieliniowe i impulsowe. Wydawnictwa Naukowo-Techniczne, Warszawa 1994.

Uwagi

Praca została dofinansowana przez Komitet Badań Naukowych w ramach projektu nr 8 T11B 021 19.