Tytuł artykułu
Autorzy
Identyfikatory
Warianty tytułu
Języki publikacji
Abstrakty
Słowa kluczowe
Wydawca
Rocznik
Tom
Strony
18--21
Opis fizyczny
Bibliogr. 9 poz.
Twórcy
autor
- Instytut Mikromechaniki i Fotoniki Politechniki Warszawskiej
Bibliografia
- 1. Górski W., Kujawińska M., Sałbut L.: Selection of interferometric methods for silicon microelements testing. Proc. SPIE, vol. 3745, 307-318, 1999.
- 2. Kujawińska M.: Interferometria laserowa-stan aktualny i prognoza rozwoju. Mat. Szkoły-Konferencji MWK'2001, t. 1, 101-116, 2001.
- 3. Post D., Han B., Ifju P.: High Sensitivity Moire. Springer-Verlag, 1994.
- 4. Sałbut L.: Waveguide grating (moire) interferometer for in-plane displacement/strain fields investigation. Optical Engineering, v. 43, 2002.
- 5. Czarnek R.: High sensitivity moire interferometry with compact achromatic interferometer. Optics and Laser in Engineering, v. 13, 93-101, 1990.
- 6. Born M., Wolf E.: Principles of Optics, Wyd. 6, Pergamon Press, Oxford 1980.
- 7. Kujawińska M., Sałbut L.: Interferometria laserowa. Mat. Szkoły Konferencji MWK'99, t. 1, 11-58, 1999.
- 8. Sałbut L., Jóźwik M., Gorecki Ch., Lee S.S.: ,,Waveguide microinterferometry system for microelements investigation", Proc. SPIE, vol. 4400, 138-143, 2001.
- 9. Madou M.: Fundamentals of Microfabrication. 224, CRC Press, 1997.
Typ dokumentu
Bibliografia
Identyfikator YADDA
bwmeta1.element.baztech-article-BWA2-0005-0314