Interferometryczne stanowisko do badań materiałowych i mechanicznych elementów MEMS

• Autorzy: Sałbut L.
• Języki publikacji: PL
• Wydawca: Wydawnictwo SIGMA-NOT
• Czasopismo: Elektronizacja : podzespoły i zastosowania elektroniki
• Rocznik: 2002
• Tom: nr 7-8
• Strony: 18--21
• Opis fizyczny: Bibliogr. 9 poz.

Twórcy

autor

Sałbut L.

• Instytut Mikromechaniki i Fotoniki Politechniki Warszawskiej

Bibliografia

• 1. Górski W., Kujawińska M., Sałbut L.: Selection of interferometric methods for silicon microelements testing. Proc. SPIE, vol. 3745, 307-318, 1999.
• 2. Kujawińska M.: Interferometria laserowa-stan aktualny i prognoza rozwoju. Mat. Szkoły-Konferencji MWK'2001, t. 1, 101-116, 2001.
• 3. Post D., Han B., Ifju P.: High Sensitivity Moire. Springer-Verlag, 1994.
• 4. Sałbut L.: Waveguide grating (moire) interferometer for in-plane displacement/strain fields investigation. Optical Engineering, v. 43, 2002.
• 5. Czarnek R.: High sensitivity moire interferometry with compact achromatic interferometer. Optics and Laser in Engineering, v. 13, 93-101, 1990.
• 6. Born M., Wolf E.: Principles of Optics, Wyd. 6, Pergamon Press, Oxford 1980.
• 7. Kujawińska M., Sałbut L.: Interferometria laserowa. Mat. Szkoły Konferencji MWK'99, t. 1, 11-58, 1999.
• 8. Sałbut L., Jóźwik M., Gorecki Ch., Lee S.S.: ,,Waveguide microinterferometry system for microelements investigation", Proc. SPIE, vol. 4400, 138-143, 2001.
• 9. Madou M.: Fundamentals of Microfabrication. 224, CRC Press, 1997.