Badanie chropowatości powierzchni za pomocą skaterometru

• Autorzy: Pawlata A.

Warianty tytułu

EN

Examination of surface roughness using scatterometer

• Języki publikacji: PL

Abstrakty

PL

W artykule opisano zjawisko rozproszenia światła od powierzchni chropowatej. Pokazano możliwość obliczenia powierzchniowej chropowatości RMS z pomiaru TIS oraz z pomiaru BSDF. Opisano skaterometr uScan SMS oraz przedstawiono wyniki pomiarowe chropowatości powierzchni RMS uzyskane za pomocą tego skaterometru dla kilku wybranych materiałów.

EN

The light scattering from the rought surface is described. The possibility of calculation of the RMS surface roughness from the TIS and BSDF measurements is shown. The [mi]Scan SMS scatterometer is described and the measurement results of the RMS surface roughness obtained using the scatterometer for few selected materials are presented.

Słowa kluczowe

PL

chropowatość powierzchni RMS; rozproszenie; fala powierzchniowa; skaterometr

EN

RMS surface roughness; scattering wave; scatterometer

• Wydawca: Wojskowa Akademia Techniczna im. Jarosława Dąbrowskiego
• Czasopismo: Biuletyn Wojskowej Akademii Technicznej
• Rocznik: 2002
• Tom: Vol. 51, nr 6
• Strony: 141--151
• Opis fizyczny: Bibliogr. 10 poz.

Twórcy

autor

Pawlata A.

• Wojskowa Akademia Techniczna, Instytut Optoelektroniki, 00-908 Warszawa, ul. S. Kaliskiego 2

Bibliografia

• [1] Schmitt Measurement Systems, Inc., μScan Scatterometer System, User's Manual, October, 1997.
• [2] E. L. Church, J. M. Zavada, Residual surface roughness of diamond-turned optics, Applied Optics, Vol. 14, No 8 (1975).
• [3] J. C. Stover, Roughness characterization of smooth machined surfaces by light scattering, Applied Optics, Vol. 14, No 8 (1975).
• [4] J. M. Bennett, L. Mattsson, Introduction to Surface Roughness and Scattering, Optical Society of America, 1993.
• [5] H. E. Bennett, J. O. Porteus, Relation between surface roughness and specular reflectance at normal incidence, J. Opt. Soc. Am., 51, 123 (1961).
• [6] E. L. Church, H. A. Jenkinson, J. M. Zavada, Measurement of the finish of diamond-turned metal surfaces by differential light scattering, Optical Engineering, Vol. 16, No 4 (1977).
• [7] H. E. Bennett, Scattering Characteristics of Optical Materials, Optical Engineering, Vol. 17, No 5 (1978).
• [8] Z. Legun, Technologia elementów optycznych, WNT, Warszawa 1982.
• [9] W. Chabros, Skateroskop - zasada działania, budowa, obsługa, Optyka, 3-4 (1996).
• [10] W. Chabros, Skateroskop do testowania powierzchni polerowanych, publikacja w przygotowaniu.