Powiadomienia systemowe
- Sesja wygasła!
- Sesja wygasła!
Tytuł artykułu
Autorzy
Wybrane pełne teksty z tego czasopisma
Identyfikatory
Warianty tytułu
Konferencja
The Second School of Photonics in Information Processing ; (7.11-11.11.2000 ; Stare Jabłonki , Poland)
Języki publikacji
Abstrakty
We will discuss the recent developments in the field of quided-wave MOEMS, The goal well be to review the processes involved in the fabrication of silicon-based optical wavequides and will proceed to describe and analyse how this photonic technology may be integrated within the MEMS environment. Finally, some examples of optical functions that can benefit by the integration of optical wavequides with MEMS will be described, such as integrated optic switches, integrated optical modulators, micromachined optical sensors, and microprobes for optical near-field microscopy.
Słowa kluczowe
Wydawca
Czasopismo
Rocznik
Tom
Strony
248--256
Opis fizyczny
Bibliogr. 23 poz.
Twórcy
autor
- LOPMD-Institut des Microtechniques de Franche-Comte, 32 Ave. de l'Observatoire, 25044 Besancon Cedex, France, christophe.gorecki@univ-fcomte.fr
Bibliografia
Typ dokumentu
Bibliografia
Identyfikator YADDA
bwmeta1.element.baztech-article-BWA2-0005-0214