Komplementarne zastosowanie metod dyfrakcji i spektroskopii absorpcyjnej promieniowania X do charakteryzacji cienkich warstw Ti-Si-C

• Autorzy: Ławniczak-Jabłońska K. , Klepka M. T. , Wolska A. , Dynowska E. , Borysiewicz M. A. , Piotrowska A.

Warianty tytułu

EN

Complementary application of X-ray diffraction and absorption spectroscopy for thin Ti-Si-C film characterisation

• Konferencja: Krajowa Konferencja Elektroniki. Sesja Specjalna InTechFun POIG.01.03.01-00-159/08 (11. 11-14.06. 2012 ; Darłówko Wschodnie, Polska)
• Języki publikacji: PL

Abstrakty

PL

Przedstawiono wyniki komplementarnej charakteryzacji, technikami XRD i XAS, cienkich warstw Ti-Si-C osadzanych metodą wysokotemperaturowego magnetronowego rozpylania katodowego na podłożach szafirowych (00.1) z wykorzystaniem targetów pierwiastkowych Ti, Si i C. Badania dyfrakcyjne wykazały silną zależność składu fazowego warstw od wielkości mocy podawanych na poszczególne targety podczas ich osadzania, natomiast badania spektroskopii absorpcyjnej pozwoliły na określenie zmian w funkcji tej mocy lokalnego, uśrednionego porządku atomowego w otoczeniu atomów Ti i porównanie go z porządkiem jaki powinien występować w modelowym związku Ti₃SiC₂. Wykonano dwie grupy próbek: o relatywnie wysokiej mocy targetu Si i średniej targetu C oraz o względnie niskiej mocy targetu Si i wysokiej targetu C.

EN

This work presents the results of complementary use of XRD and XAS for the characterisation of thin Ti-Si-C films deposited via high temperature magnetron sputtering onto sapphire (00.1) substrates using elemental Ti, Si and C targets. The XRD studies showed a strong dependence of the phase composition of the films on the powers fed to the individual targets during deposition. The XAS studies enabled to determine the local atomic order in Ti neighbourhood and differences in averaged atomic order in function of power fed as compared to a Ti₃SiC₂ model. Two sample sets were fabricated, one with a relatively high power fed to the Si target and a medium power fed to the C target and the second where a relatively low power was fed to the Si target and a high one to the C target.

Słowa kluczowe

PL

XAS; EXAFS; XRD; fazy MAX; Ti3SiC2; metalizacje; rozpylanie katodowe

EN

XAS; EXAFS; XRD; MAX phases; Ti3SiC2; metallisations; sputtering

• Wydawca: Wydawnictwo SIGMA-NOT
• Czasopismo: Elektronika : konstrukcje, technologie, zastosowania
• Rocznik: 2012
• Tom: Vol. 53, nr 9
• Strony: 28--31
• Opis fizyczny: Bibliogr. 11 poz., tab., wykr.

Twórcy

autor

Ławniczak-Jabłońska K.

autor

Klepka M. T.

autor

Wolska A.

autor

Dynowska E.

autor

Borysiewicz M. A.

autor

Piotrowska A.

• Instytut Fizyki Polskiej Akademii Nauk, Warszawa

Bibliografia

• [1] Jeitschko W., H. Nowotny, F. Benesovsky: Monatsh. Chem., 94, 672 1963.
• [2] Barsoum M. W.: Prog. Solid St. Chem. 28, 201, 2000.
• [3] Palmquist J.-P., U. Jansson, T. Seppänen, P. O. A. Persson, J. Birch, L. Hultman, P. Isberg: Appl. Phys. Lett. 81, 835, 2002.
• [4] Palmquist J.-P., S. Li, P. O. Persson, J. Emmerlich, O. Wilhelmsson, H. Hogberg, M. I. Katsnelson, B. Johansson, R. Ahuja, O. Eriksson, L. Hultman, U. Jansson, Phys. Rev. B 70, 165401, 2004.
• [5] Ravel B., M. Newville: J. Synchrotron Rad. 12, 537, 2005.
• [6] Zabinsky S. I., J. J. Rehr, A. Akundinov, R. C. Alberts, M. J. Eller: Phys. Rev. B 52 2995, 1995.
• [7] Akundinov A., B. Ravel, J. J. Rehr, S. D. Conradson: Phys. Rev. B 58 7565, 1998.
• [8] Kisi E. H., J. A. A. Crossley, S. Myhra, M. W. Barsoum: J. Phys. Chem. Solids 59, 1437, 1998.
• [9] Barsoum M. W., T. El-Raghy, C. J. Rawn, W. D. Porter, H. Wang, A. Payzant, C. Hubbard: J. Phys. Chem. Solids 60, 429, 1999.
• [10] Emmerlich J., H. Högberg, S. Sasvari, P. O. A. Persson, L. Hultman, J.-P. Palmquist, U. Jansson, J. M. Molina-Aldareguia, Z. Czigany: J. Appl. Phys. 96, 4817, 2004.
• [11] Emmerlich J., D. Music, P. Eklund, O. Wilhelmsson, U. Jansson, J. M. Schneider, H. Högberg, L. Hultman: Acta Materialia 55, 1479, 2007.