Metody analizy parametrów roboczych detektora punktu rosy typu MEMS

• Autorzy: Iwaszko R. , Jachowicz R.

Warianty tytułu

EN

Method of parameters analysis of a MEMS based dew point detector

• Języki publikacji: PL

Abstrakty

PL

W artykule opisano metody pomiaru i analizy istotnych parametrów elektrycznych detektora typu MEMS w szybkim higrometrze punktu rosy. W szczególności dotyczy to wyznaczenia punktu pracy detektora, niezależnie od zakresu mierzonych temperatur punktu rosy (tzn. poziomu wilgotności) i jego stabilności czasowej. Wiąże się to z oszacowaniem liczby molekuł wody kondensujących się na powierzchni detektora w punkcie rosy oraz wyznaczeniem wartości gradientu temperatury pomiędzy powierzchnią detektora a termorezystorem, decydującym o błędzie pomiaru temperatury punktu rosy. Badania były przeprowadzone na wykonanym specjalnie do tego celu komputerowym stanowisku pomiarowym, umożliwiającym automatyzację całego procesu pomiarowego. Przeprowadzono szereg eksperymentów mających na celu zbadanie charakterystyki detektora oraz określenie jego stabilności w czasie jak również wrażliwości na czynniki zakłócające.

EN

The paper presents the methods of measurement and analysis of the key electrical parameters of MEMS based detector. Determination of detector threshold level and its stability over wide range of measured dew point temperatures is crucial for fast dew point hygrometer. It could be accomplished by estimation of the water molecules number, condensing on de­tectors surface in a dew point temperature and determining temperature gradient between detector surface and platinum thermoresistor, leading to dew point temperature measurement error. The investigation has been carried out on a specially prepared automatic measurement stand. Series of research has been conducted towards better understanding of detectors characteristic and evaluation of its stability over the time as well as susceptibility to interference of disturbing parameters.

Słowa kluczowe

PL

pomiary wilgotności; czujnik wilgotności; detektor punktu rosy

EN

humidity measurements; humidity sensor; dew point detector

• Wydawca: Wydawnictwo SIGMA-NOT
• Czasopismo: Elektronika : konstrukcje, technologie, zastosowania
• Rocznik: 2012
• Tom: Vol. 53, nr 4
• Strony: 31--34
• Opis fizyczny: Bibliogr. 4 poz., rys., wykr.

Twórcy

autor

Iwaszko R.

autor

Jachowicz R.

• Politechnika Warszawska, Instytut Systemów Elektronicznych

Bibliografia

• [1] Weremczuk J., Iwaszko R., Jachowicz R.: The method of water molecules counting during condensation process in the dew point detector. Sensors & Actuators B Chemical, 2012, (in press).
• [2] Jachowicz R., Senturia S.: A thin-film capacitance humidity sensor. Sensors and Actuators, vol. 2, 1981/82, pp. 171-186.
• [3] Jachowicz R., Weremczuk J., Paczesny D., Tarapata G.: MEMS based super fast dew point hygrometer - construction and medical applications. Measurement Science and Technology (MST), 124008, vol. 20, No. 12, 2009.
• [4] Iwaszko R., Weremczuk J., Jachowicz R.: Zasada działania i konstrukcja wzorcowego dwustrumieniowego generatora wilgotności. Elektronika - konstrukcje, technologie, zastosowania, nr 8, 2009.