Thermoelectrical, conductometrical and optical studies of gas sensing TiO₂ : (V, Ta) thin films

Prociów, E.; Mazur, M.; Domaradzki, J.; Wojcieszak, D.; Kaczmarek, D.; Sieradzka, K.; Franczyk, Ł.

Artykuł - szczegóły

Tytuł artykułu

Thermoelectrical, conductometrical and optical studies of gas sensing TiO₂ : (V, Ta) thin films

Autorzy

Prociów E. , Mazur M. , Domaradzki J. , Wojcieszak D. , Kaczmarek D. , Sieradzka K. , Franczyk Ł.

Identyfikatory

Warianty tytułu

Termoelektryczne, konduktometryczne i optyczne badania gazoczułej cienkiej warstwy TiO₂ : (V, Ta)

Języki publikacji

Abstrakty

For the purpose of this work TiO₂ : (V, Ta) thin films have been manufactured and characterized. Two types of performed measurements, that are conductometrical and thermoelectrical and differences between them have been especially discussed. Measurements of response and recovery times of Ti0₂ : (V, Ta) thin film gas sensor in the presence of isopropyl alcohol have been carried out. Optical properties, i.e. transparency and its changes in the presence of isopropanol have been also studied.

W artykule przedstawiono wyniki badania wytworzonych cienkich warstw TiO₂ : (V, Ta). Wykonano pomiary konduktometryczne oraz termoelektryczne badanych cienkich warstw i omówiono różnice między nimi. Wyznaczono czasy odpowiedzi oraz odtrucia gazoczułych cienkich warstw TiO₂ : (V, Ta) dla pobudzenia parami alkoholu izopropylowego. Badano również zmianę właściwości optycznych cienkich warstw w obecności izopropanolu.

Słowa kluczowe

magnetron sputtering thin film titanium dioxide gas sensor

rozpylanie magnetronowe cienka warstwa dwutlenek tytanu czujnik gazu

Wydawca

Wydawnictwo SIGMA-NOT

Czasopismo

Elektronika : konstrukcje, technologie, zastosowania

Rocznik

2012

Tom

Vol. 53, nr 4

Strony

28--30

Opis fizyczny

Bibliogr. 21 poz., wykr.

Twórcy

autor

Prociów E.

autor

Mazur M.

autor

Domaradzki J.

autor

Wojcieszak D.

autor

Kaczmarek D.

autor

Sieradzka K.

autor

Franczyk Ł.

Wrocław University of Technology, Faculty of Microsystem Electronics and Photonics

Bibliografia

[1] Zhang M., Yuan Z., Song J., Zheng C.: Improvement and mechanism for the fast response of a Pt/TiO2 gas sensor. Sensors and Actuators B: Chemical, 148, 87-92, 2010.
[2] Korotcenkov G.: Gas response control through structural and chemical modification of metal oxide films: State of the art and approaches. Sensors and Actuators B: Chemical, 107, 209-232, 2005.
[3] Yamazoe N.: Toward innovations of gas sensor technology. Sensors and Actuators B: Chemical, 108, 2-14, 2005.
[4] Barsan N., Koziej D., Weimar U.: Metal oxide-based gas sensor | research: how to? Sensors and Actuators B: Chemical, 121, 18-35, 2007.
[5] Huang X. J., Choi Y. K.: Chemical sensors based on nanostructured materials. Sensors and Actuators B: Chemical, 122, 659-671, 2007.
[6] Yamazoe N., Shimanoe K.: New perspectives of gas sensor technology. Sensors and Actuators B: Chemical, 138, 100-107, 2009.
[7] Lee J. H.: Gas sensors using hierarchical and hollow oxide nanostructures: overview. Sensors and Actuators B: Chemical, 140, 319-336, 2009.
[8] Simon I., Barsan N., Bauer M., Weimar U.: Micromachined metal oxide gas sensors: opportunities to improve sensor performance. Sensors and Actuators B: Chemical, 73, 1-26, 2001.
[9] Jianwei G., Quanfang C., Ming-Ren L., Nen-Chin L., Stevenson G., Fatos A.: Micromachined nanocrystalline silver doped SnO2 H2S sensor. Sensors and Actuators B: Chemical, 114, 32-39, 2006.
[10] Yakuphanoglu F.: Electrical conductivity, Seebeck coefficient and optical properties of SnO2 film deposited on ITO by dip coating. Journal of Alloys and Compounds, 470, 55-59, 2009.
[11] Chou S. M., Teoh L. G., Lai W. H., Su Y. H., Hon M. H.: ZnO: Al Thin Film Gas Sensor for Detection of Ethanol Vapor. Sensors, 6, 1420-1427, 2006.
[12] Sahaya P. P., Nath R. K.: Al-doped ZnO thin films as methanol sensors. Sensors and Actuators B: Chemical, 134, 654-659, 2008.
[13] Lee D. S., Nam K. H., Lee D.: Effect of substrate on NO2 -sensing properties of WO3 thin film gas sensors. Thin Solid Films, 375, 142-146, 2000.
[14] Teoh L. G., Hona Y. M., Shieh J., Lai W. H.,. Hon M. H.: Sensitivity properties of a novel NO2 gas sensor based on mesoporous WO3 thin film. Sensors and Actuators B: Chemical, 96, 219-225, 2003.
[15] Afifi M. A., Abdel-Aziz M. M., Yahia I. S., Fadel M., Wahab L. A.: Transport properties of polycrystalline TiO2 and Ti2O3 as semiconducting oxides. Journal of Alloys and Compounds, 455, 92-97, 2008.
[16] Karunagaran B., Uthirakumar Periyayya, Chung S.J ., Velumani S., Suh E.-K.: TiO2 thin film gas sensor for monitoring ammonia. Materials Characterization, 58, 680-684, 2007.
[17] Chang J. F., Kuo H. H., Leu I. C., Hon M. H.: The effects of thickness and operation temperature on ZnO:Al thin film CO gas sensor. Sensors and Actuators B: Chemical, 84, 258-264, 2002.
[18] Min C. S., Gaik T. L., Hao L. W., Hsun S. Y., Hsiung H. M.: ZnO:Al Thin Film Gas Sensor for Detection of Ethanol Vapor. Sensors, 6, 1420-1427, 2006.
[19] Srivastava J. K., Pandey P., Mishra V. N., Dwivedi R.: Sensing mechanism of Pd-doped SnO2 sensor for LPG detection. Solid State Sciences, 11, 1602-1605, 2009.
[20] Patel N. G., Patel P. D., Vaishnav V. S.: Indium tin oxide (ITO) thin film gas sensor for detection of methanol at room temperature. Sensors and Actuators B: Chemical, 96, 180-189, 2003.
[21] Prociów E., Domaradzki J., Kaczmarek D., Berlicki T.: Polish patent. 2006, No P 379 365.

Typ dokumentu

Bibliografia

Identyfikator YADDA

bwmeta1.element.baztech-article-BWA1-0049-0026