Wpływ warunków nanoszenia szkliw krzemowych na jakość uzyskanej powierzchni

• Autorzy: Wróbel E. , Waczyński K.

Warianty tytułu

EN

Influence of conditions applied silica glasses on the quality of the resulting silicon surface

• Konferencja: Krajowa Konferencja Elektroniki. 8 ; 7-10.06.2010 ; Darłówko-Wschodnie, Polska
• Języki publikacji: PL

Abstrakty

PL

Głównym celem przedstawionych w artykule badań była analiza warunków nanoszenia i formowania warstw dielektrycznych na jakość tych warstw. Warstwy obserwowano za pomocą mikroskopu Axio Imager MAT firmy Carl Zeiss. Analizowano powierzchnię pod kątem powstałych defektów i istniejących zanieczyszczeń.

EN

The main objective of the research in the article was an analysis of the conditions applied and the formation of dielectric layers on the quality of these layers. Layers were observed with microscope mikroskopu Axio Imager MAT Carl Zeiss firm. Analyzed in terms of surface defects created and the existing pollution.

Słowa kluczowe

PL

metoda spin-on; warstwy dielektryczne

EN

spin-on method; dielectric layers

• Wydawca: Wydawnictwo SIGMA-NOT
• Czasopismo: Elektronika : konstrukcje, technologie, zastosowania
• Rocznik: 2009
• Tom: Vol. 50, nr 10
• Strony: 21--23
• Opis fizyczny: Bibliogr. 4 poz., il.

Twórcy

autor

Wróbel E.

autor

Waczyński K.

• Politechnika Śląska, Instytut Elektroniki, Gliwice

Bibliografia

• [1] Waczyński K., Krompiec S., Łoś S.: Badania nad zastosowaniem szkliwa planaryzującego w technologii krzemowej. Zeszyły Naukowe Politechniki Śląskiej, z.129, Gliwice, 1993.
• [2] http://www.mse.arizona.edu/faculty/birnie/Coatings
• [3] FILMTRONICS, “Materiały reklamowe firmy”, Pensylwania USA, 1996.
• [4] Carl Zeiss: Instrukcja obsługi Axio Imager Mikroskop - Carl Zeiss AG Mikroskopia Świetlna, Göttingen 2006.