Wytwarzanie impulsowej plazmy reaktywnej w silnoprądowym akceleratorze hybrydowym

• Autorzy: Walkowicz J. , Miernik K.

Warianty tytułu

EN

Generation of pilsed reactive plasma in high-current hybrid accelerator

• Konferencja: Inżynieria Powierzchni 2000. 3 Ogólnopolska Konferencja Naukowa ; 2000 ; Radom - Kazimierz Dolny, Polska
• Języki publikacji: PL

Abstrakty

PL

Celem prezentowanych prac było opracowanie nowego, hybrydowego sposobu wytwarzania impulsowej plazmy reaktywnej łączącego generowanie plazmy w układzie magnetronu cylindrycznego z jej impulsowym przyspieszaniem w układzie akceleratora koaksjalnego. W ramach realizacji zadania opracowano i wykonano prototyp źródła hybrydowego, będący połączeniem magnetronu cylindrycznego typu wnękowego z koaksjalnym akceleratorem impulsowym. Sposób pracy źródła, polegający na wytwarzaniu stacjonarnej plazmy reaktywnej pomiędzy silnoprądowymi impulsami przyspieszającymi, umożliwia kształtowanie charakterystyk źródła w znacznie szerszym zakresie, niż to jest możliwe dla typowych akceleratorów impulsowych. W artykule przedstawione są wyniki badań charakterystyk roboczych opracowanego źródła oraz czasowe i przestrzenne rozkłady charakterystyk emisyjnych wybranych składników reaktywnej plazmy impulsowej dla różnych konfiguracji i trybów pracy źródła.

EN

Results of research executed by the paper's authors proved the correctness of the taken assumption that separation of phases of the reactive plasma generation and acceleration in impulse sources enable to influence the source characteristics and plasma components distributions during their transport from the source to the substrate. The shape of the impulse discharge current determines the course of the process of plasma generating and accelerating. A strict correlation was shown between the layer structure of plasma, at the source outlet, and the number of half-periods occurring in the current course from discharge initiation to its deterioration. Introduction of the stationary discharge very significantly changed the time-space structure of plasma.

Słowa kluczowe

PL

hybrydowe źródło plazmy; charakterystyka prądowo-napięciowa; czasowo-przestrzenny rozkład składników plazmy

EN

plasma source of hybrid; plasma torch; voltage-current characteristics; time-space structure distribution of plasma

• Wydawca: Wydawnictwo Naukowe Instytutu Technologii Eksploatacji - Państwowego Instytutu Badawczego
• Czasopismo: Problemy Eksploatacji
• Rocznik: 2000
• Tom: nr 2
• Strony: 441--460
• Opis fizyczny: Bibliogr. 18 poz., rys., tab., wykr.

Twórcy

autor

Walkowicz J.

autor

Miernik K.

• Instytut Technologii Eksploatacji, Radom