Cienkie warstwy tlenków metali na podłożach ceramicznych LTCC jako mikrosensory gazów

• Autorzy: Sutor A. , Potempa P. , Pisarkiewicz T. , Maziarz W. , Wójcik P.

Warianty tytułu

EN

Thin film metal oxides deposited onto LTCC substrates as gas sensors

• Języki publikacji: PL

Abstrakty

PL

W pracy przedstawiono technologię i pomiary czułości sensorów wytworzonych z wykorzystaniem podłoży ceramicznych LTCC i cienkich warstw tlenków metali. Zmodyfikowana technologia struktur LTCC umożliwia uzyskanie gładkości wierzchniej warstwy ceramicznej nie gorszej niż 0.25 µm. Warstwa wierzchnia służyła jako podłoże w technologii nanoszenia cienkich warstw gazoczułych. Przedstawiono charakterystyki sensorów wytworzonych z wykorzystaniem tlenków SnO2 oraz In2O3 przy zmiennej koncentracji wodoru, alkoholu etylowego oraz ozonu w powietrzu. Pomiary przeprowadzono w warunkach regulowanej temperatury warstwy gazoczułej oraz zmiennej wilgotności powietrza. Osiągnięte rezultaty badań pozwalają sądzić, że połączenie technologii cienkowarstwowych z technologią LTCC może stworzyć możliwość produkcji miniaturowych półprzewodnikowych sensorów gazów o korzystnych parametrach.

EN

Fabrication and measurements of sensitivity for sensors manufactured with using LTCC substrates and thin films of metal oxides are described. The modified technology of LTCC structures enabled obtaining of surface ceramic layer with roughness not worse than 0.25 µm. The surface layer served as substrate in the technology of thin film gas sensitive layers. Characteristics of the sensors utilizing SnO2 and In2O3 oxides for varying concentrations of hydrogen, ethanol and ozone in air are given. The measurements were performed for controlled temperature of the sensitive layer in conditions of varied air humidity. The obtained results indicate, that combinations of thin film and LTCC technologies can lead to the production of miniature semiconductor gas sensors with optimized parameters.

Słowa kluczowe

PL

LTCC; warstwy gazoczułe; cienkie warstwy; półprzewodniki miniaturowe

EN

LTCC; gas sensors; thin films; miniature semiconductors

• Wydawca: Wydawnictwo SIGMA-NOT
• Czasopismo: Elektronika : konstrukcje, technologie, zastosowania
• Rocznik: 2002
• Tom: Vol. 43, nr 3
• Strony: 21--22
• Opis fizyczny: Bibliogr. 4 poz., rys., wykr.

Twórcy

autor

Sutor A.

• Katedra Elektroniki AGH, Kraków

autor

Potempa P.

• Katedra Elektroniki AGH, Kraków

autor

Pisarkiewicz T.

• Katedra Elektroniki AGH, Kraków

autor

Maziarz W.

• Katedra Elektroniki AGH, Kraków

autor

Wójcik P.

• Katedra Elektroniki AGH, Kraków

Bibliografia

• 1. Göpel W., Schierbaum K. O.: Sensors, A Comprehensive Survey, vol. 2, Chemical and Biochemical Sensors Part 1, VCH Weinheim, 1991.
• 2. Maziarz W., Potempa P., Sutor A., Pisarkiewicz T.: Analiza odpowiedzi czujnika gazów z modulacją temperatury pracy, VII Konf. Nauk. Technologia Elektronowa ELTE'2000, Polanica Zdrój 18-22.09.2000, s. 1169-1172.
• 3. Pisarkiewicz T., Sutor A., Maziarz W., Thust H., Thelemann T.: Thin film gas sensors on low temperature cofired ceramics, IMAPS-Europe Prague 2000, June 18-20, p. 399.
• 4. Pisarkiewicz T., Stapiński T., Sutor A., Zakrzewska K.: lndium oxide thin film with a large surface area, Surface Engineering in Materials Science I, Ed. by Seal S., Dahotre N. B., Moore J. J., Mishra B., TSM Nashville 2000, p. 115.