Recent developments in SIMS instrumentation

• Autorzy: Horreard F.

Warianty tytułu

PL

Najnowsze osiągnięcia w dziedzinie doskonalenia aparatury SIMS

• Języki publikacji: EN

Abstrakty

EN

CAMECA has developed a new magnetic sector SIMS, allowing ultra low energy ion bombardment thanks to a new floating primary ion calumn. This permits ultra low primary ion energies (down to 250 eV) to be used simultaneusly with a high extraction field (high transmission) and an optimum incident angle, quasiindependently of secondary ion polarity and extraction voltage. A 300 mm wafer robotics has been incorporated as well as a real-time crater depth measurement based on laser interferometry. To reduce the rugosity growth under ion bombardment, an eucentric rotating stage has also been developed, allowing rotation of the sample during the depth profiling. For the trace elemental and isotopic analysis and imaging of sub--micron areas, the new parallel magnetoc spector ion microprobe NANOSIMS 50 has been specifically developed. Lateral resolution down 50 nm of reactive ions is possible together with a very high transmission at high mass resolution. Five ionic images can be simultaneously recorded thanks to a Mattauch--Herzog magnetic sector geometry and moveable detectors.

PL

Firma CAMECA opracowała ostatanio spektrometr magnetyczny SIMS, umożliwiający bombardowanie wiązką jonów pierwotnych o ultraniskiej energii dzięki zastosowaniu układu jonooptycznego na zmiennym potencjale. Rozwiązanie to umożliwia stosowanie niskiej energii wiązki (aż do 250 eV) przy jednoczesnym stosowaniu silnego pola ekstrakcyjnego - powodującego wysoką transmisję jonów wtórnych. Umożliwia także uzyskiwanie optymalnego kąta padania, prawie niezależnie od polaryzacji jonów wtórnych i wybranej wartości pola ekstrakcyjnego. Dzięki zastosowaniu automatycznego układu sterowania mogą być analizowane płytki o średnicy 30 mm. Zastosowanie zjawiska interferencji światła laserowego umożliwia pomiar głebokości trwania w czasie trwania jonowego. W celu redukcji rozwoju chropowatości trawionego materiału zastosowano precyzyjny stolik obrotowy umożliwiający ciągły obrót próbki w trakcie analizy profilowej. Jednocześnie opracowano nową magnetyczną mikrosondę jonową NANISIMS 50 w celu wykonania pierwiastkowej analizy śladowej, analizy izotopowej, a także w celu obrazowania w zakresie poniżej mikrometra. Możliwe jest także uzyskanie rozdzielności powierzchniowej (aż do 50 nm przy stosowaniu jonów reaktywnych), a także bardzo wysokiej transmisji przy wysokiej rozdzielczości masowej. Pięć obrazów jonowych może być jednoczesnie zapisywanych dzięki zastosowanej geometrii magnetycznego sektora Mattauch--Herzoga oraz rychomym detektorom.

Słowa kluczowe

EN

magnetic sector SIMS; ion microprobe; NANOSIMS 50; real-time crater depth

PL

spektrometr magnetyczny SIMS; mikrosonda jonowa; NANOSIMS 50

• Wydawca: Wydawnictwo SIGMA-NOT
• Czasopismo: Elektronika : konstrukcje, technologie, zastosowania
• Rocznik: 2000
• Tom: Vol. 41, nr 11
• Strony: 7--10
• Opis fizyczny: Bibliogr. 3 poz., rys., wykr.

Twórcy

autor

Horreard F.

• CAMECA, 103 Bd, Saint-Denis, 92403 Courbevoie,