Obliczenia i pomiary parametrów akustycznych fal powierzchniowych w niobianie litu o orientacji 128° YX

• Autorzy: Soluch W. , Łysakowska M.

Warianty tytułu

EN

Calculations and measurements of surface acustic wave parameters in 128° YX cut lithium niobate

• Języki publikacji: PL

Abstrakty

PL

Przedstawiono wyniki obliczeń i pomiarów parametrów akustycznych fal powierzchniowych w niobianie litu (LiNbO_{3) o orientacji 128° YX, który jest powrzechnie stosowany w produkcji filtrów z akustyczn a falą powierzchniową (AFP). Obliczenia przeprowadzono przy wykorzystaniu opracowanego wczesniej programu komputerowego, który został przystosowany do obliczeń przy uwzględnieniu skończonej grubości warstwy metalu naniesionej na podłoże piezoelektryczne. Do pomiaru parametrów AFP zastosowano metodę czwórniakowego rezonansu synchronicznego. Uzyskano bardzo dobrą zgodność wyników obliczeń i pomiarów,}

EN

Results of calculations and measurements of SAW parameters in 128° YX cut lithium niobate, which is used in mass production of surface acoustic wave (SAW) filters, are presented. The calculations were performed by means of a computer program, which was adapted for calculations with finite thickness of a metal layer deposited on a piesoelectric substrate. A two port synchronous resonator method was used for SAW parameters measurements. Very good agreement was obtained between the results of calculations and measurements.

Słowa kluczowe

PL

fale powierzchniowe; niobian litu

EN

surface waves; lithium niobate

• Wydawca: Wydawnictwo SIGMA-NOT
• Czasopismo: Elektronika : konstrukcje, technologie, zastosowania
• Rocznik: 2000
• Tom: Vol. 41, nr 3
• Strony: 18--20
• Opis fizyczny: Bibliogr. 7 poz., rys., wykr.

Twórcy

autor

Soluch W.

autor

Łysakowska M.

• Instytut Technologii Materiałów Elektronicznych, Warszawa