Trójwymiarowe obrazowanie powierzchni w skaningowym mikroskopie elektronowym

• Autorzy: Paluszyński J. , Słówko W.

Warianty tytułu

EN

Three-dimensional imaging in a scanning electron microscope

• Języki publikacji: PL

Abstrakty

PL

Przedstawiono zasadę działania i budowę systemu służącego do syntezy trójwymiarowych obrazów topografii powierzchni otrzymywanych w skaningowym mikroskopie elektronowym (SEM). Synteza obrazu trójwymiarowego wykorzystuje właściwości rozkładu kątowego elektronów wtórnych i wstecznie rozproszonych. Układ czterech scyntylacyjnych detektorów elektronów wtórnych jest źródłem sygnałów zależnych od lokalnego nachylenia analizowanej powierzchni. Układ akwizycyjny przetwarza te sygnały na postać cyfrową i transmituje do komputera klasy PC, gdzie są zapamiętywane w formie czterech obrazów dwuwymiarowych, różniących się kierunkiem oświetlenia badanego obiektu. Specjalne oprogramowanie realizuje algorytm syntezy trójwymiarowej.

EN

A system for quantitative three-dimensional synthesis of surface topography for a scanning electron microscope (SEM) is presented. The three-dimensional image synthesis is based on the angular distribution of secondary and backscattered electrons. A quadruple secondary electron detector unit allows obtaining signals dependent on local surface inclination. An acquisition unit converts these signals to their digital form and transmits them to a PC, where they are stored as four images enlighten from different directions. Special software carries out the process of the 3D imaging in many possible manners. Errors and potential applications of the method are also discussed.

Słowa kluczowe

PL

SEM; obrazowanie trójwymiarowe; detektor scyntylacyjny

EN

SEM; 3D imaging; scintillation detector

• Wydawca: Wydawnictwo SIGMA-NOT
• Czasopismo: Elektronika : konstrukcje, technologie, zastosowania
• Rocznik: 2006
• Tom: Vol. 47, nr 4
• Strony: 26--28
• Opis fizyczny: Bibliogr. 5 poz., wykr.

Twórcy

autor

Paluszyński J.

autor

Słówko W.

• Politechnika Wrocławska, Wydział Elektroniki, Mikrosystemów i Fotoniki

Bibliografia

• [1] Russ J. C.: Computer-Assisted Microscopy. Plenum Press, New York and London 1990.
• [2] Reimer L., Bongeler R., Desai V.: Shape from shading using multiple detector signals in scanning electron microscopy. Scanning Microscopy, vol. 1, 1987.
• [3] Czepkowski T.: Odtwarzanie profilu powierzchni przy wykorzystaniu sygnału elektronów wtórnych w skaningowym mikroskopie elektronowym. Praca doktorska, Wrocław 1994.
• [4] Słówko W.: Zespół odtwarzania profili powierzchni do elektronowego mikroskopu skaningowego. Sprawozdanie końcowe z realizacji projektu badawczego finansowanego przez Komitet Badań Naukowych, Wrocław 1996.
• [5] Czepkowski T., Słówko W.: Some Limitation of Surface Profile Reconstruction in Scanning Electron Microscopy. Scanning, vol. 18, 1996.