Tytuł artykułu
Autorzy
Identyfikatory
Warianty tytułu
Silicon micromechanical sensors
Języki publikacji
Abstrakty
Słowa kluczowe
Wydawca
Rocznik
Tom
Strony
32--34
Opis fizyczny
Twórcy
opracował
Bibliografia
Typ dokumentu
Bibliografia
Identyfikator YADDA
bwmeta1.element.baztech-article-BWA1-0001-0146