Technika łączenia warstw polimerowych z ceramicznymi elementami mikroukładów

• Autorzy: Chudy M. , Malecha K. , Golonka L. , Sosicki A. , Roguszczak H. , Jakubowska M. , Dybko A. , Brzózka Z.

Warianty tytułu

EN

Polymer-ceramics bonding technique for analytical microsystems

• Języki publikacji: PL

Abstrakty

PL

Przedstawiono możliwości konstrukcji mikroukładów chemicznych z wykorzystaniem materiałów ceramicznych i polimerowych. Opracowano technikę trwałego i odwracalnego łączenia warstw ceramicznych i polimerowych, zależnie od dalszego przeznaczenia konstruowanego mikroukładu. W przypadku wykorzystania go w systemie z ciśnieniowym transportem mediów ciekłych przez układ konieczne jest bondowanie trwałe z wykorzystaniem plazmowej modyfikacji kolejnych warstw. W mikroukładach z transportem elektroosmotycznym próbek wystarczają jedynie siły wzajemnej adhezji warstw ceramicznych i polimerowych. W obu przypadkach ceramiczne elementy mikrosystemów należało pokryć warstwą szkliwa.

EN

The possibilities of the construction of microsystems using ceramics and polymers were presented in the paper. The technology of irreversible and reversible bonding of ceramic and polymer microsystems' layers was developed. The irreversible bonding is required only for microfluidic structures, in which samples and reagents are introduced into the system using pressure methods. For the systems with an electroosmotic reagents dosing adhesion forces between particular layers are enough to seal the microchannels. In both cases a glaze layer was screen-printed on ceramic plates to eliminate their surface roughness.

Słowa kluczowe

PL

mikroukłady analityczne; warstwy ceramiczne; warstwy polimerowe; łączenie warstw

EN

analytical microsystems; ceramic layers; polymer layers; bonding technique

• Wydawca: Wydawnictwo SIGMA-NOT
• Czasopismo: Elektronika : konstrukcje, technologie, zastosowania
• Rocznik: 2007
• Tom: Vol. 48, nr 3
• Strony: 13--14
• Opis fizyczny: Bibliogr. 5 poz., il.

Twórcy

autor

Chudy M.

autor

Malecha K.

autor

Golonka L.

autor

Sosicki A.

autor

Roguszczak H.

autor

Jakubowska M.

autor

Dybko A.

autor

Brzózka Z.

• Politechnika Warszawska, Wydział Chemiczny, Warszawa

Bibliografia

• [1] Manz A., Graber N., Widmer H. M.: Sensors and Actuators. B 1, (1990), pp. 244-248.
• [2] Harrison D. J., Fluri K., Seiler K., Fan Z.H., Effenhauser C. S., Manz A.: Science, 261 (1993), pp. 895-897.
• [3] Golonka L. J.: Zastosowanie ceramiki LTCC w mikroelektronice. Oficyna Wyd. Politechniki Wrocławskiej, Wrocław 2001.
• [4] Gongora-Rubio M., Espinoza-Vallejos P., Sola-Laguna L., Santiago-Aviles J. J.: Sensors and Actuators. A, 89 (2001), p. 222.
• [5] Roguszczak H., Zawada T., Radojewski J., Golonka L. J., Chudy M., Stadnik D., Dybko A., Brzózka Z., Grabowska I.: LTCC based microfluidic system with optical detection. Sensors & Actuators B, 111 (2005), 396.