Wpływ temperatury pracy sensora gazu na jego odpowiedź statyczną i dynamiczną

• Autorzy: Maziarz W. , Pisarkiewicz T. , Koszur J. , Jaźwiński J.

Warianty tytułu

EN

Influence of sensor working temperature on its static and dynamic response

• Języki publikacji: PL

Abstrakty

PL

Temperatura pracy wpływa w istotny sposób na czułość i czas odpowiedzi półprzewodnikowego sensora gazu. Istotne są takie czynniki, jak wartość średnia i amplituda zmian temperatury oraz kształt napięcia zasilającego grzejnik. Wykorzystując własny zintegrowany sensor mikromechaniczny przeprowadzono szereg badań, m.in. wyznaczenie czułości sensora na gaz w zależności od temperatury, dobór odpowiednich parametrów zasilania grzejnika, pomiary odpowiedzi czujnika w obecności powietrza oraz w atmosferze gazów utleniających i redukujących.

EN

Working temperature influences essentially the sensitivity and response time of semiconductor gas sensor. In this case the important parameters are the average value and amplitude of temperature variation and the shape of heater supply voltage. Making use of the own micromechaned gas sensor some experiments were performed, i.e. the determination of sensitivity as a function of temperature, selection of adequate heater.

Słowa kluczowe

PL

półprzewodnikowe sensory gazu; sensory mikromechaniczne; modulacja temperatury pracy; odpowiedź dynamiczna sensora

EN

semiconductor gas sensors; micromechanic sensors; modulation of working temperature; dynamic sensor response

• Wydawca: Wydawnictwo SIGMA-NOT
• Czasopismo: Elektronika : konstrukcje, technologie, zastosowania
• Rocznik: 2007
• Tom: Vol. 48, nr 3
• Strony: 10--12
• Opis fizyczny: Bibliogr. 9 poz., wykr.

Twórcy

autor

Maziarz W.

autor

Pisarkiewicz T.

autor

Koszur J.

autor

Jaźwiński J.

• Akademia Górniczo-Hutnicza, Katedra Elektroniki, Kraków

Bibliografia

• [1] Maziarz W.: Zintegrowany sensor gazów wytworzony w technologii mikromechanicznej. Praca doktorska, Akademia Górniczo-Hutnicza, Kraków 2006.
• [2] Myslík V., Vysloužil F., Vrňata M., Rozehnal Z., Jelínek M., Fryček R., Kovanda M.: Phase ac-sensitivity of oxidic and acetylacetonic gas sensors. Sens. Actuators B 89 (2003) 205-211.
• [3] Sears W., Colbow K., Consadori F.: General characteristics of thermally cycled tin oxide gas sensors. Semicond. Sci. Technol. 4 (1989) 351-359.
• [4] Le Vine H. D.: Method and apparatus for operating a gas sensor. US Pat. 3906473, http://www.freepatentsonline.com (16 Sept. 1975).
• [5] Eicker H.: Method and apparatus for determining the concentration of one gaseous component in a mixture of gases. US Pat. 4012692, http://www.freepatentsonline.com (15 March 1977).
• [6] Bukowiecki S., Pfister G., Reis A., Troup A., Ulli H.: Gas or vapor alarm system including scanning gas sensors. US Pat. 4567475, http://www.freepatentsonline.com (28 Jan. 1986)
• [7] Nakata S., Akakabe S., Nakasuji M., Yoshikawa K.: Gas sensing based on a nonlinear response: discrimination between hydrocarbons and quantification of individual components in a gas mixture. Anal. Chem. 68 (1996) 2067-2072.
• [8] Nakata S., Ozaki E., Ojima N.: Gas sensing based on the dynamic nonlinear responses of a semiconductor gas sensor: dependence on the range and frequency of a cyclic temperature change. Analytica Chimica Acta 361 (1998) 93-100.
• [9] Maziarz W., Hajduk K., Pisarkiewicz T.: The model of conductance response for temperature modulated metal oxide gas sensors. Proc. of International Conference Eurosensors XIX, vol. II, Barcelona, Spain, 11-14, 2005, p. WPb78