Tytuł artykułu
Autorzy
Identyfikatory
Warianty tytułu
Thermal emitters of infrared radiation fabricated by silicon micromechanic
Języki publikacji
Abstrakty
Przedstawiono problemy konstrukcji i technologii termicznych emiterów promieniowania podczerwonego wytwarzanych metodami mikromechaniki krzemowej. Elementem promieniującym jest warstwa silnie domieszkowanego polikrzemu, osadzona na membramie z azotku krzemu i rozpięta nad wnęką wytworzoną w podłożu z krystalicznego krzemu. Mikropromienniki takie umożliwiają uzyskanie luminancji integralnej ok. 10 mW/(mm2 *sr) i charakteryzują się stałą czasową wynoszącą 1-4 ms. Mogą więc być zastosowane w urządzeniach techniki podczerwieni wymagających źródła promieniowania modulowanego elektrycznie. Przedstawione zostały kierunki dalszych prac zmierzających do uproszczenia technologii, zwiększenia szybkości działania i polepszenia niezawodności.
Problems of the design and technology of thermal emitters of infrared radiation are discussed. The devices are fabricated using silicon mi-cromachinning. The radiating material is heavily doped polysilicon layer deposited onto silicon nitride membrane suspended over cavity prepared in crystalline silicon substrate. The micromachinned emitters make possible to achieve integral luminance of about 10 mW/(mm2 *sr) and exhibit time constant of 1-4 ms. The devices can be used in systems which require electrically modulated sources of infrared radiation. Recent efforts are on simplification of technology of the devices, increased speed of response and improved reliability.
Wydawca
Rocznik
Tom
Strony
5--10
Opis fizyczny
Bibliogr. 37 poz., wykr.
Twórcy
Bibliografia
Typ dokumentu
Bibliografia
Identyfikator YADDA
bwmeta1.element.baztech-article-BWA0-0015-0015
JavaScript jest wyłączony w Twojej przeglądarce internetowej. Włącz go, a następnie odśwież stronę, aby móc w pełni z niej korzystać.