Pompy jonowo-sorpcyjne o podwyższonej stabilności pompowania gazów szlachetnych i aktywnych

• Autorzy: Cyrański R. , Konarski P. , Wymysłowski A. , Sobolewski A.

Warianty tytułu

EN

Ion sorption pumps with improved pumping stability for active and inert gases

• Języki publikacji: PL

Abstrakty

PL

Opisano projekty konstrukcji nowo opracowanych pomp jonowo-sorpcyjnych typu PJ-50 i PJ-400. Przy opracowaniu pomp wykorzystano wyniki eksperymentalne oraz wyniki symulacji obliczeniowych zjawisk zachodzących w układach katodowo-anodowych. Określono czynniki wpływające na efektywność pompowania gazów. Pompy PJ-50 i PJ-400 wyposażone są w zróżnicowane układy anodowo-katodowe z katodami płaskimi i modyfikowanymi oraz wkłady geterowe typu NEG firmy SAES. Pompa PJ-400 wyposażona jest dodatkowo w wymrażarkę chłodzoną ciekłym azotem lub wodą oraz w sześcioprętowy sublimator tytanowy.

EN

New construction design of ion sorption pumps: PJ-50 and PJ-400 is presented. Construction is based on experimental data as well as computer simulations of the physical processes present in Penning discharge systems. The presented pumps are equipped with various size discharge cells and different types of cathodes. In addition PJ-400 model has cryogenic shroud and six-rod titanium sublimator. Both pumps are equipped with SAES NEG getters.

Słowa kluczowe

PL

pompowanie gazów; efektywność pompowania; układy anodowo-katodowe; pompa jonowo-sorpcyjna; próżnia; pompa próżniowa; pompa PJ-50; pompa PJ-400

EN

vacuum pump; ion sorption pump; ions in solids; vacuum; pump PJ-50; pump PJ-400

• Wydawca: Wydawnictwo SIGMA-NOT
• Czasopismo: Elektronika : konstrukcje, technologie, zastosowania
• Rocznik: 1998
• Tom: Vol. 39, nr 5
• Strony: 34--39
• Opis fizyczny: Bibliogr. 18 poz., rys., wykr.

Twórcy

autor

Cyrański R.

autor

Konarski P.

autor

Wymysłowski A.

autor

Sobolewski A.

• Instytut Technologii Próżniowej, Warszawa