PL EN


Preferencje help
Widoczny [Schowaj] Abstrakt
Liczba wyników
Tytuł artykułu

Numeryczna metoda optymalizacji pompy jonowo-sorpcyjnej ze względu na szybkość pompowania

Identyfikatory
Warianty tytułu
EN
Numerical calculation of ion pump's pumping speed
Języki publikacji
PL
Abstrakty
PL
W pracy zaprezentowano numeryczną metodę wyznaczania szybkości pompowania pompy jonowo-sorpcyjnej. Obliczeń dokonano przy pomocy metody elementów skończonych zaimplementowanej w oprogramowaniu ANSYS 5.3 w celu optymalizacji konstrukcji pomp ze względu na szybkość pompowania. Badano rozkład potencjału oraz rozkład gęstości prądu jonowego wewnątrz komórki wyładowczej. Parametrami były: pole magnetyczne - do 1 ,5 T, potencjał anody - do 7 kV, średnica komórki wyładowczej - do 24 mm. Obliczenia szybkości pompowania dokonywano po przeprowadzeniu symulacji procesu rozpylania jonowego powierzchni katody.
EN
A numerical calculation of ion pump's pumping speed is presented. Finite element method implemented in ANSYS 5.3 code is used to optimise the construction parameters of ion sorption pumps. The method is based on simulation of potential distribution and ion bombardment current distribution within the discharge cell. The input parameters for the simulation were: magnetic field up to 1.5 T, anode potential up to 7 kV, dischange cell diameter up to 24 mm. The results as well as sputtering simulation data led us to calculate pumping speed of the analysed systems.
Rocznik
Strony
27--33
Opis fizyczny
Bibliogr. 4 poz., wykr.
Twórcy
autor
autor
  • Instytut Technologii Próżniowej, Warszawa
Bibliografia
Typ dokumentu
Bibliografia
Identyfikator YADDA
bwmeta1.element.baztech-article-BWA0-0009-0017
JavaScript jest wyłączony w Twojej przeglądarce internetowej. Włącz go, a następnie odśwież stronę, aby móc w pełni z niej korzystać.