Numeryczna metoda optymalizacji pompy jonowo-sorpcyjnej ze względu na szybkość pompowania

• Autorzy: Wymysłowski A. , Konarski P. , Cyrański R.

Warianty tytułu

EN

Numerical calculation of ion pump's pumping speed

• Języki publikacji: PL

Abstrakty

PL

W pracy zaprezentowano numeryczną metodę wyznaczania szybkości pompowania pompy jonowo-sorpcyjnej. Obliczeń dokonano przy pomocy metody elementów skończonych zaimplementowanej w oprogramowaniu ANSYS 5.3 w celu optymalizacji konstrukcji pomp ze względu na szybkość pompowania. Badano rozkład potencjału oraz rozkład gęstości prądu jonowego wewnątrz komórki wyładowczej. Parametrami były: pole magnetyczne - do 1 ,5 T, potencjał anody - do 7 kV, średnica komórki wyładowczej - do 24 mm. Obliczenia szybkości pompowania dokonywano po przeprowadzeniu symulacji procesu rozpylania jonowego powierzchni katody.

EN

A numerical calculation of ion pump's pumping speed is presented. Finite element method implemented in ANSYS 5.3 code is used to optimise the construction parameters of ion sorption pumps. The method is based on simulation of potential distribution and ion bombardment current distribution within the discharge cell. The input parameters for the simulation were: magnetic field up to 1.5 T, anode potential up to 7 kV, dischange cell diameter up to 24 mm. The results as well as sputtering simulation data led us to calculate pumping speed of the analysed systems.

Słowa kluczowe

PL

pompa jonowo-sorpcyjna; próżnia; pompa próżniowa

EN

vacuum pump; ion sorption pump; ions in solids; vacuum

• Wydawca: Wydawnictwo SIGMA-NOT
• Czasopismo: Elektronika : konstrukcje, technologie, zastosowania
• Rocznik: 1998
• Tom: Vol. 39, nr 5
• Strony: 27--33
• Opis fizyczny: Bibliogr. 4 poz., wykr.

Twórcy

autor

Wymysłowski A.

autor

Konarski P.

autor

Cyrański R.

• Instytut Technologii Próżniowej, Warszawa