Wytwarzanie i właściwości warstw Me-C:H na stopach aluminium

• Autorzy: Czyżniewski A. , Precht W.

Warianty tytułu

EN

Deposition and properties of Me-C:H films on aluminum alloys

• Języki publikacji: PL

Abstrakty

PL

Przedstawiono wyniki badań właściwości warstw Me-C:H (Me-Ti, Cr, W) wytwarzanych na stopach aluminium metodą reaktywnego rozpylania magnetronowego (RMS). Do kontroli procesów wytwarzania warstw zastosowano optyczną spektroskopię emisyjną. Wyniki badań właściwości (mikrotwardości, adhezji, współczynnika tarcia) warstw wytworzonych oraz wyniki testów złączy rozbieralnych typu ConFlat wykonanych ze stopu PA6 z pokrytymi ostrzami wskazują, że warstwy Ti-C:H i Cr-C:H mogą być wykorzystywane do pokrywania elementów aluminiowej aparatury wysokiej i ultrawysokiej próżni.

EN

The tribological properties of Me-C:H ( Me-Ti, Cr, W) coatings of aluminum alloys substrates using the reactive magnetron sputtering method (RMS) were investigated. The optical emission spectroscopy was used to control of process. Microhardness, adhesion and friction coefficient of the films were tested. The lifetime of the coated ConFlat flanges, made of Al-alloys was also investigated. The test results show, that the best coatings of the UHV components for the Al-alloys substrates are the Ti-C:H and Cr-C:H films.

Słowa kluczowe

PL

stopy aluminium; aluminium; warstwy Me-C:H; rozpylanie magnetronowe (RMS)

EN

coatings of aluminium; Me-C:H; aluminium; magnetron sputtering method (RMS)

• Wydawca: Wydawnictwo SIGMA-NOT
• Czasopismo: Elektronika : konstrukcje, technologie, zastosowania
• Rocznik: 1998
• Tom: Vol. 39, nr 5
• Strony: 15--19
• Opis fizyczny: Bibliogr. 14 poz., rys., wykr.

Twórcy

autor

Czyżniewski A.

autor

Precht W.

• Środowiskowe Laboratorium Techniki Próżniowej, Politechnika Krakowska