Zachowanie spójności pomiarowej w dziedzinie nanometrologii wymiarowej

• Autorzy: Smereczyńska B.

Warianty tytułu

EN

Measuring traceability in dimensional nanometrology

• Konferencja: Metrologia Kwantowa ; 09-10.05.2006 ; Poznań, Polska
• Języki publikacji: PL

Abstrakty

PL

Opracowanie przybliża problematykę związaną z zachowaniem spójności w dziedzinie nanometrologii wymiarowej (obejmującej pomiary struktur i obiektów wykonywane głównie za pomocą mikroskopów SPM) przez przeprowadzenie międzynarodowych porównań (nanocomparisons) specjalnych wzorców materialnych, służących do wzorcowania tego typu przyrządów. Dokładniej omówiono porównanie Nano2, w którym uczestniczył Główny Urząd Miar.

EN

The present article brings closer the problems connected with an assurance of traceability in the field of dimensional nanometrology (containing the measurements of structures and artefacts, which are carried out mainly with the SPM microscopes) through execution of international comparisons (the Nano comparisons) of special material standards used to calibration of this type instruments. The comparison Nano2, in which among others Central Office of Measures (GUM) participated, was discussed more detailed.

Słowa kluczowe

PL

nanometrologia; spójność pomiarowa; wzorce materialne; wzorcowanie

EN

nanometrology; measuring traceability; material standards; calibration

• Wydawca: Wydawnictwo SIGMA-NOT
• Czasopismo: Elektronika : konstrukcje, technologie, zastosowania
• Rocznik: 2006
• Tom: Vol. 47, nr 5
• Strony: 47--50
• Opis fizyczny: Bibliogr. 7 poz., il.

Twórcy

autor

Smereczyńska B.

• Główny Urząd Miar, Warszawa

Bibliografia

• [1] Międzynarodowy słownik podstawowych i ogólnych terminów metrologii. Wydanie polskie, GUM, 1996.
• [2] BIPM KCDB Web site: http://kcdb.bipm.fr/bipm-kcdb/
• [3] Line scale standards. Final Report WGDM-7 Prelimianary Comparison on Nanometrology Nano3, Aug. 29, 2003.
• [4] Meli F.: 1D gratings. Final Report WGDM-7 Prelimianary Comparison on Nanometrology Nano4, Nov. 30, 2000.
• [5] Koenders L.: Step height standards. Final Report WGDM-7 Preliminary Comparison on Nanometrology Nano2, Aug. 26, 2003.
• [6] Smereczyńska B., Sałbut L.: Linnik's microinterferometer with a computer analysis of interference fringes for calibration of roughness standards. 1st International Conference Euspen (Brema), 1999.
• [7] Wilkening G., Koenders L.: Nanoscale Calibration Standards and Methods. Wiley-VCH Verlag GmbH & Co. KgaA, 2005.