Systemy MEMS na zakres częstotliwości radiowych i mikrofalowych

• Autorzy: Dobrowolski J.

Warianty tytułu

EN

Microwave and radio-frequency MEMS

• Konferencja: Krajowa Konferencja Elektroniki (4 ; 12-15.06.2005 ; Darłówko Wschodnie, Polska)
• Języki publikacji: PL

Abstrakty

PL

Mikroelektromechaniczne systemy (MEMS) znajdują szerokie zastosowania w realizacjach układów scalonych na potrzeby współczesnych systemów radiokomunikacyjnych, radiolokacyjnych, GPS itd. Wytwórnie układów scalonych oferują usługi umożliwiające wytwarzanie MEMS i ich integrację z układami scalonymi. Podano informacje o technologii i rodzajach MEMS do zastosowań radiowych i mikrofalowych. Omówiono struktury i modele obwodów zastępczych oraz podano osiągane parametry waraktorów, cewek, przełączników, rezonatorów i linii transmisyjnych realizowanych jako struktury MEMS. Omówiono zastosowania układowe tych elementów.

EN

Micro Electro Mechanical Systems have been widely used in microwave an radio-frequency monolithic integrated circuits for radiocommunications an radar systems. Integrated circuits foundaries offer manufacturing service which allow integration of MEMS structures with electronic circuits on on semiconducor chip. This paper presents basic information and ideas o MEMS technology, electrically different MEMS structures and their applications in RF and microwave circuits and systems. There are presented mechanical structures, electrical models and electrical parameters of MEM: elements which are used as varactors, inductors, switches, resonant circuit and filters, and planar transmission lines at RF and microwave frequencies

Słowa kluczowe

PL

systemy mikroelektromechaniczne; przełączniki MEMS; kondensatory MEMS; cewka MEMS; rezonatory i filtry MEMS

EN

RF and microwave MEMS systems; MEMS technology; MEMS varactors; MEMS inductors; MEMS switches; MEMS transmission lines; electrical models

• Wydawca: Wydawnictwo SIGMA-NOT
• Czasopismo: Elektronika : konstrukcje, technologie, zastosowania
• Rocznik: 2005
• Tom: Vol. 46, nr 11
• Strony: 6--13
• Opis fizyczny: Bibliogr. 32 poz., il., wykr.

Twórcy

autor

Dobrowolski J.

• Politechnika Warszawska, Instytut Systemów Elektronicznych

Bibliografia

• [1] C.T. C. Nguyen, L. P. В. Katehi, G.M. Rebeiz: Micromachined Devices for Wireless Communications. Proc. IEEE, vol. 86, no. 8, 1998, pp. 1756-1769.
• [2] L. E. Larson: Microwave MEMS Technology for Next-Generation Wireless Communications - Invited Paper. 1999 IEEE MTT-S Digest, pp. 1073-1076.
• [3] J-C. Chiao, Y. Fu, D. Choudhury, L-Y. Lin: MEMS Millimeterwave Components. 1999 IEEE MTT-S, Digest, pp. 463-466.
• [4] W. Mały: Atlas of 1C Technologies: An Introduction to VLSI Processes. The Benjamin/Cummings Publishing Co. Inc., Melno Park, 1987.
• [5] J. A. Dobrowolski: Monolityczne mikrofalowe układy scalone - technologia, projektowanie, pomiary. WNT, Warszawa 1999.
• [6] G.T.A. Kovacs, N.l. Maluf, К. E. Petersen: Bulk Micromachining of Silicon. Proc. IEEE, vol. 86, no. 8, Aug. 1998, pp. 1536-1551.
• [7] J. M. Bustillo, R. T. Howe, R. S. Muller: Surface Micromachining for Microelectromechanical Systems. Proc. IEEE, vol. 86, no. 8, Aug. 1998, pp. 1552-1574.
• [8] W. Bacher, W. Menz, J. Mohr: The LIGA Technique and its Potential for Microsystems - A Survey. IEEE Trans. Ind. Electronics, vol. 42, no. 5, 1995, pp. 431-441.
• [9] P. Petersen: Silicon as a Mechanical Material. Proc. IEEE, vol. 70, no. 5, pp. 420-457, May 1982.
• [10] C.J. Kim, K. Chun, J. D. Lee, C.J. Kim: Polisilicon Surface-Modification Technique to Reduce Sticking of Microstructures. Sensors and Actuators, vol. A52, 1996, pp. 145-150.
• [11] Y. I. Lee, et al.: Dry Release for Surface Micromachining with HF Vapor-Phase Etching. Journal of Microelectromechanical Systems, vol. 6 no. 3 1997, pp. 226-233.
• [12] К. E. Petersen: Micro-Electro-Mechanical Membrane Switches on Silicon. IBM J. Res. Develop., Vol. 23, No. 4, 1979, pp. 376-385.
• [13] L. E. Larson, R. H. Hacken, R.F. Lohr: Microactuators for GaAs-Based Microwave Integrated Circuits. IEEE Sensors and Actuators Conference, 1991, pp. 743-746.
• [14] C. Goldsmith, J. Randall, S. Eshelman, T. H. Lin, i inni: Characteristics of Micromachined Switches at Microwave Frequencies. IEEE MTT-S Symp. Digest, 1996, pp. 1141-1144, vol. 2.
• [15] C. Goldsmith, S. Eshelman, D. Deniston: Performance of Low-Loss RF MEMS Capacitive Switches. IEEE Microwave and Guided Wave Letters, vol. 8, no. 8 pp. 269-271, Aug. 1998.
• [16] H.D. Wu, K. F. Harsh, R.S. Irwin, A. R. Mikelson, Y. C. Lee, J.B. Dobsa: MEMS Designed for Tunable Capacitors. IEEE MTT-S Symp. Digest, 1998, pp. 127-129.
• [17] A. Dec, K. Suyama: A 2.4 GHz CMOS VCO Using Micromachined Variable Capacitors for Frequency Tuning. 1999 IEEE MTT-S Digest, pp. 1982.
• [18] H. Kim, J. Park, Y. Kim, Y. Kwon: Millimeter-Wave Micromachined Tunable Filters. 1999 IEEE MTT-S, pp. 1235-1238.
• [19] E. Frian, S. Meszaros, M. Chuaci, J. Wight: Computer-Aided Design of Square Spiral Transformers and Inductors. 1989 IEEE MTT-S Digest, pp. 661-664.
• [20] W. C. Tang, T. С. H. Nguyen, R. T. Howe: Laterally Driven Polysilicon Resonant Microstructures. IEEE Micro Electro Mechanical Systems Workshop, Salt Lake City, 1989, pp. 53-59.
• [21] W. C. Tang, M C. Lim, R.T. Howe: Electrostatically Balanced Comb Drive for Controlled Levitation. IEEE Micro Electro Mechanical Systems Workshop, Salt Lake City, 1989, pp. 23-27.
• [22] R.T. Howe: Resonant Microsensors. Transducers’87, 4th Int. Conference on Solid State Sensors and Actuators, Tokyo, Japan, 1987, pp. 843-848.
• [23] C.T. C. Nguyen, R. Howe: Design and Performance of CMOS Micromechanical Resonant Oscillators, IEEE Int. Frequency Control Symp., 1994, pp. 127-134.
• [24] C.Y. Chi, G.M. Rebeiz: Planar Microwave and Millimeter-Wave Lumped Elements and Coupled-Line Filters Using Micromachining Techniques. IEEE Trans. Microwave Theory Tech., Vol. 43, No. 4, pp. 730-738, 1995.
• [25] T. M. Weller, L. P. Katehi, G. M. Rebeiz: A 250 GHz Microshield Band-pass Filter. IEEE Trans. Microwave Theory Tech., Vol. 43, No. 3, pp. 534-543, 1995.
• [26] S. V. Robertson, L. P. Katehi, G. M. Rebeiz: Micromachined W-Band Filter. IEEE Trans. Microwave Theory Tech., Vol. 44, No. 4, pp. 598-606, 1996.
• [27] C.Y. Chi, G. M. Rebeiz: Conduction Loss Limited Stripline Resonators and Filters. IEEE Trans. Microwave Theory Tech., Vol. 44, No. 4, pp. 626-630, 1996.
• [28] H. J. De Los Santos: Introduction to Microelectromechanical (MEM) Microwave Systems. Artech House, Boston-London, 1999.
• [29] G. M. Rebeiz: RF MEMS, Theory, Design and Technology. J. Wiley & Sons, Hoboken, New Jersey, USA, 2003.
• [30] Corning Intellisence, Wilmington, MA, www.intellisence.com
• [31] Coventor Inc., Cary, NC, WWW.conventor.com
• [32] MEMSCAP Inc., San Jose, CA., www.memscap.com