Wpływ czasu bombardowania jonowego na charakter struktury geometrycznej powierzchni stali

• Autorzy: Martan J. , Kowalski Z. W.

Warianty tytułu

EN

The influence of ion bombardment duration on steel surface geometrical structure character

• Języki publikacji: PL

Abstrakty

PL

Badanie struktury geometrycznej powierzchni (SGP) jest jednym z ważniejszych zagadnień związanych z modyfikacją powierzchni ciała stałego. Odgrywa ona niezwykle istotną rolę w mikroelektronice i medycynie. Podstawowymi składowymi SGP są chropowatość oraz mniej znane i rzadziej badane - falistość i wady powierzchni. Charakter struktury geometrycznej powierzchni materiału zależy od rodzaju stosowanego procesu technologicznego, np. obróbki skrawaniem lub coraz częściej stosowanego rozpylania jonowego. W niniejszym opracowaniu przeanalizowano wpływ czasu bombardowania wiązką jonów powierzchni stali nierdzewnej na charakter SGP, wykorzystując metodę analizy harmonicznych, zapożyczoną z elektrotechniki.

EN

Investigation of surface geometrical structure (SGS) is one of the more important problems connected with solid surface modification. SGS plays an important role in such branches of science and technology like microelectronics or medicine. The main components of the structure in question are roughness and less known and rarely investigated - waviness and surface defects. Surface geometrical structure character of the material depends on kind of technological process applied, e.g. machining or more and more frequently used ion sputtering. In this work the influence of ion--beam bombardment duration of stainless steel surface on SGS character was analysed making use of harmonic analysis method, borrowed from electrical engineering.

Słowa kluczowe

PL

analiza harmonicznych; struktura geometryczna powierzchni; bombardowanie jonowe; stal nierdzewna

EN

harmonic analysis; surface geometrical structure; ion bombardment; stainless steel

• Wydawca: Wydawnictwo SIGMA-NOT
• Czasopismo: Elektronika : konstrukcje, technologie, zastosowania
• Rocznik: 2005
• Tom: Vol. 46, nr 6
• Strony: 18--19
• Opis fizyczny: Bibliogr. 3 poz., wykr.

Twórcy

autor

Martan J.

• Politechnika Wrocławska, Wydział Informatyki i Zarządzania

autor

Kowalski Z. W.

• Politechnika Wrocławska, Wydział Elektroniki Mikrosystemów i Fotoniki

Bibliografia

• 1. Nowicki B.: Struktura geometryczna, chropowatość i falistość powierzchni. WNT, Warszawa 1991.
• 2. Stacewicz T., Kotlicki A.: Elektronika w laboratorium naukowym. Wydawnictwo Naukowe PWN, Warszawa 1994.
• 3. Russ J. C.: Fractal Surface. Plenum Press New York, Londyn 1994.