Nanomiernictwo mikro- i nanostruktur metodami mikroskopii bliskich oddziaływań

• Autorzy: Gotszalk T. , Radojewski J. , Szeloch R. , Marendziak A. , Kolanek K. , Woszczyna M. , Masalska A. , Grabiec P. , Janus P. , Rangelow I.

Warianty tytułu

EN

Nanometrology of micro- and nanostructures using Scanning Probe Microscopy

• Języki publikacji: PL

Abstrakty

PL

Przedstawiono zastosowanie mikroskopii bliskich oddziaływań (ang. Scanning Probe Microscopy - SPM) w miernictwie właściwości mikro- i nanostruktur. Omówiono uwarunkowania eksperymentalne i podstawowe metody, których celem jest przeprowadzenie ilościowej analizy parametrów badanych układów. Zaprezentowano również wyniki badań prowadzonych w trybie kalibrowanej mikroskopii sił atomowych (ang. Calibrated Atomie Force Microscopy- CD AFM), mikroskopii bliskiego pola optycznego (ang. Scanning Nearfield Optical Microscopy- SNOM) oraz mikroskopii sił atomowych z piezoelektrycznym rezonatorem kwarcowym, pełniącym rolę czujnika siły skupionej na mikroostrzu.

EN

In this article we describe application of Scanning Probe Microscopy in measurements of micro- and nanostructures. We will describe the experimental setup and principles of methods and techniques, which are devoted to quantitative investigations of nanostructures. In our work we will present the results of measurements using Calibrated Atomic Force Microscopy, Scanning Nearfield Optical Microscopy and Scanning Probe Microscopy with piezoelectrical quartz resonator as a detector of forces acting at the microtip.

Słowa kluczowe

PL

mikroskopia bliskich oddziaływań; mikroskopia sił atomowych; nanomiernictwo

EN

scanning probe microscopy; atomic force microscopy (AFM); nanometrology

• Wydawca: Wydawnictwo SIGMA-NOT
• Czasopismo: Elektronika : konstrukcje, technologie, zastosowania
• Rocznik: 2005
• Tom: Vol. 46, nr 6
• Strony: 6--10
• Opis fizyczny: Bibliogr. 11 poz., il.

Twórcy

autor

Gotszalk T.

• Politechnika Wrocławska, Wydział Elektroniki Mikrosystemów i Fotoniki

autor

Radojewski J.

• Politechnika Wrocławska, Wydział Elektroniki Mikrosystemów i Fotoniki

autor

Szeloch R.

• Politechnika Wrocławska, Wydział Elektroniki Mikrosystemów i Fotoniki

autor

Marendziak A.

• Politechnika Wrocławska, Wydział Elektroniki Mikrosystemów i Fotoniki

autor

Kolanek K.

• Politechnika Wrocławska, Wydział Elektroniki Mikrosystemów i Fotoniki

autor

Woszczyna M.

• Politechnika Wrocławska, Wydział Elektroniki Mikrosystemów i Fotoniki

autor

Masalska A.

• Politechnika Wrocławska, Wydział Elektroniki Mikrosystemów i Fotoniki

autor

Grabiec P.

• Instytut Technologii Elektronowej, Warszawa

autor

Janus P.

• Instytut Technologii Elektronowej, Warszawa

autor

Rangelow I.

• Institute of Technical Physics, Germany

Bibliografia

• 1. Binnig G., Rohrer H., Weibel E.: Phys. Rev. Lett., 49, 1982.
• 2. Binnig G., Gerber C., Quate C.: Phys. Rev. Lett., 56, 9, 930, 1986.
• 3. Gotszalk T.: Systemy mikroskopii bliskich oddziaływań w badaniach mikro- i nanostruktur. Oficyna Wydawnicza Politechniki Wrocławskiej, 2004.
• 4. Grabiec P., Zaborowski M., Domański K., Gotszalk T., Rangelow I. W.: Microelectronic Engineering, 73-74, 699, 2004.
• 5. Pluta M.: Mikroskopia optyczna, PWN, Warszawa 1982.
• 6. Hecht B., Sick B., Wild U. P., Deckert V., Zenobi R., Martin O. J. F., Pohl D. W.: Journal of Chemical Physics, Vol. 112, 2000, pp. 7761-7774.
• 7. Grabiec P., Gotszalk T., Radojewski J., Edinger K., Abedinov N., Rangelow I. W.: Microelectronic Eng., Vol. 61/62, 2002, pp. 981-986.
• 8. Gotszalk T., Grabiec P., Rangelow I. W.: Ultramicroscopy, Vol. 82, 2000, p. 39.
• 9. Radojewski J., Grabiec P.: Materials Science, Vol. 21, 2003, pp. 319-332.
• 10. Woszczyna M.: Mikroskop sił atomowych z piezoelektrycznym rezonatorem kwarcowym jako czujnikiem sił między ostrzem a powierzchnią. Praca dyplomowa, Politechnika Wrocławska, 2005.
• 11. Marendziak A.: Pomiary wymiarów geometrycznych za pomocą mikroskopu sił atomowych. Rozprawa doktorska, Politechnika Wrocławska, 2005.