Badanie kinetyki wzrostu epitaksjalnych warstw lateralnych dla zastosowań fotowoltaicznych

• Autorzy: Gułkowski S. , Cieślak K. , Olchowik J. M. , Paprota M. , Syroka M. , Głowienka R.

Warianty tytułu

EN

Kinetics of the ELO layer growth for photovoltaics application

• Języki publikacji: PL

Abstrakty

PL

W artykule przedstawiono rezultaty badań dotyczących kinetyki wzrostu warstw epitaksjalnych otrzymywanych techniką ELO (Epitaxial Lateral Overgrowth – lateralny wzrost warstw epitaksjalnej). Omówiona została metoda przeprowadzenia eksperymentu. Zbadano wpływ parametrów technologicznych procesu tj. szybkości chłodzenia, rozmiarów okien Si, na kinetykę wzrostu lateralnego na podłożu krzemowym.

EN

Epitaxial Lateral Overgrowth (ELO) may be promising technique in photovoltaics application due to possibility of producing high quality Si epitaxial layers on silicon substrates. The advantage of this method is that density of the dislocations in new layer is less than in the substrate. The main goal of this method is to obtain as wide and as thin structures as possible. For this reason our research was concentrated on technological parameters of the growth process and its influences on width of the layer.

Słowa kluczowe

PL

ogniwo fotowoltaiczne; technologia cienkowarstwowa; epitaksja z fazy ciekłej; metoda wzrostu poprzecznego; kinetyka

EN

photovoltaic cell; thin-layer technology; liquid phase epitaxy; lateral overgrowth method; kinetics

• Wydawca: Oficyna Wydawnicza Politechniki Rzeszowskiej
• Czasopismo: Zeszyty Naukowe Politechniki Rzeszowskiej. Budownictwo i Inżynieria Środowiska
• Rocznik: 2012
• Tom: z. 59, nr 2/II/I
• Strony: 297--302
• Opis fizyczny: Bibliogr. 10 poz., il.

Twórcy

autor

Gułkowski S.

autor

Cieślak K.

autor

Olchowik J. M.

autor

Paprota M.

autor

Syroka M.

autor

Głowienka R.

• Politechnika Lubelska,

Bibliografia

• [1] S. Pietruszko.; Światowy Rynek Fotowoltaiki. Centrum Fotowoltaiki, 2009.
• [2] http://www.elektroenergetyka.org/
• [3] Koch W., Endros A. L. et al. ; Bulk Crystal Growth and Wafering for PV w Handbook of Photovoltaic Science and Engineering (ed. Antonio Luque, Steven Hegedus), Wiley, 2003.
• [4] Olchowik J.M.; Cienkie warstwy w strukturach baterii słonecznych, Wydawnictwo Uczelniane Politechniki Lubelskiej, Lublin 2004.
• [5] Herman M.A.; Krystalizacja warstw epitaksjalnych: pojęcia i problemy podstawowe (Ed. K. Sangwal), Wydawnictwo Wyższej Szkoły Pedagogicznej w Częstochowie, Częstochowa 1990.
• [6] K. Borkowski.; Epitaksja z fazy ciekłej we: Wzrost kryształów. (ed. K. Sangwal) Wyd. Wyższej Szkoły Pedagogicznej w Częstochowie, Częstochowa, 1990.
• [7] Dost S., Lent B.; Single Crystal Growth of Semiconductors from Metallic Solution. Elsevier, Amsterdam 2007.
• [8] Zytkiewicz Z. R.; Dobosz D., Liu Y. C., Dost S. Cryst. Res. Technol. 40, No 4/5, 321-328 (2005).
• [9] Zytkiewicz Z. R.; Thin Solid Films 412 (2002) 64-75.
• [10] Nishinaga T.; Cryst. Res. Technol. 31, 92 (1991).