Badania mikro/nanomechaniczne i mikro/nanotribologiczne materiałów w szczególności ultracienkich powłok

• Autorzy: Rymuza Z.

Warianty tytułu

EN

Investigation of micro/nanomechanical and micro/nanotribological behaviour of materials, in particular ultrathin films

• Języki publikacji: PL

Abstrakty

PL

Przedstawiono metody i niektóre wyniki badań materiałów, w szczególności ultracienkich warstw, umożliwiając ocenę ich własności mechanicznych i zachowania się trybologicznego w skali mikro/nano. Wyniki tych badań są w szczególności przydatne przy budowie mikrosystemów elektromechanicznych (MEMS - Micro Electro Mechanical Systems) i urządzeń do magnetycznego zapisu informacji (twarde dyski).

EN

The methods of investigation and some results relating to the micro/nanomechanical and micro/nanotribological behaviour of materials, in particular ultrathin films, are discussed. The results of such studies are applicable in particular in the construction of Micro Elecro Mechanical Systems (MEMS) and devices for magnetic recording (hard disks).

Słowa kluczowe

PL

badanie materiałów; własności mechaniczne; własności tribologiczne; mikrosystem elektromechaniczny

• Wydawca: Wydawnictwo PAK
• Czasopismo: Pomiary Automatyka Kontrola
• Rocznik: 2000
• Tom: R. 46, nr 10
• Strony: 22--27
• Opis fizyczny: Bibliogr. 28 poz., rys., tab., wzory

Twórcy

autor

Rymuza Z.

• Politechnika Warszawska, Wydział Mechatroniki, Instytut Mikromechaniki i Fotoniki

Bibliografia

• 1. R. Kaneko: Microtribology, Tribology International, 28(1995)33-37.
• 2. B. Bhushan: Principles and Applications of Tribology, J. Wiley and Sons, Chichester, 1999.
• 3. B. Bhushan (ed): Handbook of Micro/Nanotribology, 2nd edition, CRC Press, Boca Raton, 1999.
• 4. B. Bhushan: Tribology and Mechanics of Magnetic Storage Devices, 2nd edition. Springer Verlag, Berlin, 1996.
• 5. B. Bhushan: Makro- i mikrotribologia magnetycznych dysków twardych. Tribologia, nr 2 (1997) 169-181.
• 6. B. Bhushan (ed.): Tribology Issues and Opportunities in MEMS, Kluwer Academic Publishers, Dordrecht, 1998.
• 7. Z. Rymuza: Mikrotribologia, Tribologia, nr 3 (1993) 56-62.
• 8. Z. Rymuza: Tribology of Miniature Systems, Tribology Series Vol. 13, Elsevier Science Publishers, Amsterdam, 1989.
• 9. Z. Rymuza: Mikrosystemy (MEMS) - problemy tribologiczne, Pomiary Automatyka Kontrola, nr 9 (1993) 215-219.
• 10. Z. Rymuza: Badanie mikrosystemów MEMS, Pomiary Automatyka Kontrola, nr 9 (1995) 254-259 i 266.
• 11. J.N. Israelachvili, P.M. McGuiggan: Forces between surface and liquids, Science, 241 (1988) 795-800.
• 12. E.T. Watts, J. Krim, A. Widom: Experimental observation of interfacial slippage at the boundary of molecularly thin films with gold substrates, Physical Review, 34B (1990) 3466-3472.
• 13. M. Scherge, Li X., J.A. Schaefer: The effect of water on friction of MEMS, Tribology Letters, 6 (1999) 215-220.
• 14. Z. Kusznierewicz, M. Misiak, Z. Rymuza: Budowa tribotestera do badania nowych materiałów, biomateriałów, warstw implantowanych lub/i cienkich powłok - część mechaniczna, Prace Naukowe Politechniki Warszawskiej - Inżynieria Materiałowa z. 6 (1997) 111-123.
• 15. W.C. Oliver, G.M. Pharr: An improved technique for determining hardness and clastic modulus using load and displacement sensing indentation experiments, Journal Of Materials Research, 7 (1992) 1564-1583.
• 16. B. Bhushan, A.V. Kulkarni, W. Bonin, J.T Wyrobek: Nano/picoindentation measurement of using a capacitive transducer system in atomic force microscopy, Philosophical Magazine, 74 (1996) 1117-1128.
• 17. J. Ziang, C.J. Lu. D.B. Bogy, T. Miyamoto: An investigation of the experimental conditions and characteristics of nano-wear test, Wear, 181-183(1995) 777-783.
• 18. Z. Rymuza, M. Misiak, Z. Kusznierewicz, K. Schmidt-SzaIowski. Rżanek-Boroch: Micro/nanotribological testing of ultra-thin films for MEMS technology, w: 11th International Summer School Mielno '99 „Modern Plasma Surface Technology" (WPrecht, red.), Politechnika Koszalińska, Koszalin, 1999, 119-131.
• 19. A.G. Khurshudov; K. Kato, H. Koide: Wear of the AFM diamond tip sliding against silicon, Wear, 203-204 (1997) 22-27.
• 20. B. Bhushan: Nanoscale tribophysics and tribomechanics, Wear, 225-229 (1999) 465-492.
• 21. W. S. Trimmer (ed): Micromachincs and MEMS, IEEE Press, New York, 1997.
• 22. S. Sundararajan. B. Bhushan: Micro/nanotribology of ultra-thin hard amorpous carbon coatings using atomic force/friction force microsco-py, Wear, 225-229 (1999) 678-689.
• 23. Z. Rymuza: Control tribological and mechanical properties of MEMS surfaces, Part 1: critical review, Microsystem Technologies, 5(1999) 173-180.
• 24. Z. Rymuza, M. Misiak, L. Kuiin, K. Schmtdt-Szalowski, Z. Rżanek-Boroch: Control tribological and mechanical properties of MEMS surfaces, Part 2: nanomechanical behavior of self-lubricating ultra-thin films, Microsystem Technologies, 5 (1999) 181-188.
• 25. B.G. Rosen, R. Ohlsson, T.R. Thomas, Wear of cylinder bore microtopography. Wear, 198 (1996) 271-279.
• 26. R. Constantin, R. Christoph, J. Beguin, H. Boving, H.E. Hintermann: Use of atomic force microscopy for surface roughness determination of ball bearings, Surface and Coatings Technology, 62 (1993) 517-522.
• 27. A.K. Gangopadhyay, M.P. Everson, R.C. Jaklevic, P.A. Willermet: Observation of the wear surface by scanning tunneling microscopy. Wear, 149 (1991) 313-323.
• 28. N.X. Randall, J.L. Bozkt: Nanoindentaion and scanning force microscopy as a novel method for the characterization of tribological transfer films, Wear 212 (1997) 18-24.