Ocena dokładności pomiarów w mikrotechnologiach materiałowych

• Autorzy: Pawlak R. , Klimek L. , Kawczyński R. , Tomczyk M. , Walczak M.

Warianty tytułu

EN

Estimation of measurement accuracy in materials microtechnologies

• Języki publikacji: PL

Abstrakty

PL

Pomiar różnorodnych wielkości fizycznych, określających cechy materiałowe elementów, podlegających obróbce przestrzennej lub modyfikacji w wyniku oddziaływania wiązki laserowej jest trudny ze względu na mikroskopijne wymiary elementów finalnych. W artykule omówiono wybrane zagadnienia dokładności pomiarów w trakcie opracowywania nowej technologii w skali mikrometrowej (pomiary parametrów wiązki laserowej, określania właściwości strukturalnych i mikrotwardości jako wybranej cechy funkcjonalnej).

EN

Majority of material technologies making use of a laser beam are micro-technologies in micrometer- or even nanoscale. Such technological processes, considering that the volume of materials undergoing modification or synthesis as a result of laser treatment is extreme small, are very difficult to control in real time ("on line"). Therefore, proper elaboration of the microtechnology in order to prevent a measurement of large number of parameters during its multiple reproduction is the task of great importance. Direct use of measuring methods for macroscopic material objects is not acceptable. Generally, there are not many sophisticated measuring methods and systems for micro- or nanoscale. Problems of measurement accuracy are discussed in the paper. The authors tried to solve them during their research at different stages of new laser microtechnologies. The presented issues include measurements of selected laser beam parameters, structural evaluation, among other, electron microanalysis and some functional properties of elements produced by laser technology.

Słowa kluczowe

PL

dokładność pomiaru; laserowe mikrotechnologie materiałowe

EN

measurements accuracy; materials laser microtechnologies

• Wydawca: Wydawnictwo PAK
• Czasopismo: Pomiary Automatyka Kontrola
• Rocznik: 2010
• Tom: R. 56, nr 10
• Strony: 1213--1216
• Opis fizyczny: Bibliogr. 6 poz., rys., tab., wykr.

Twórcy

autor

Pawlak R.

autor

Klimek L.

autor

Kawczyński R.

autor

Tomczyk M.

autor

Walczak M.

• Politechnika Łódzka, Instytut Elektrotechniki Teoretycznej, Metrologii i Materiałoznawstwa, Stefanowskiego 18/22, 90-924 Łódź,

Bibliografia

• [1] Pawlak R., Kostrubiec F., Walczak M., Tomczyk M., Problems of precise laser microalloying and microremelting in submilimeter scale, 11th NOLAMP Conference in Laser Processing of Materials, Acta Universitatis Lappeenrantaesis, 273, 2007.
• [2] Pawlak R., Gawroński Z., Gasser A., Wissenbach K., Non-equilibrium solidification by laser surface alloying of molybdenum with nickel: structure and properties of alloyed layers, Journal of Materials Science, Chapman & Hall vol. 36, 2001, pp. 3261-3271.
• [3] Kostrubiec F., Lisik Z., Pawlak R., Jakubowska K., Korbicki A.: New laser technology for wire bonding in power devices, Micro-electronics Journal, Elsevier, vol. 32, 2001, pp. 543-546.
• [4] Pawlak R., Walczak M.: Mikropołączenia elektryczne spawane laserem - modelowanie rezystancji, Prace Nauk. Inst. Podstaw Elektrotechniki i Elektrotechnologii Polit. Wr. Nr 38, seria : Konf. nr 13, Postępy w elektrotechnologii V, 2003, s. 299-306.
• [5] Tomczyk M., Analysis of thermo kinetic processes in laser bonding, conducting great electric current density, Z. Nauk. Polit. Łódzkiej, nr 117, 2009, str. 55-60.
• [6] Kostrubiec F., Walczak M., Thermal stresses in the tungsten and molybdenum surface layer following laser treatment”, Journal of Materials Science Letters Chapman & Hall 13, 1994, str.34-36.