Analiza metrologiczna wybranych układów fotodetekcyjnych stosowanych w pomiarach przemieszczeń techniką zliczania prążków interferencyjnych

• Autorzy: Zamiela G. , Dobosz M.

Warianty tytułu

EN

Metrological analysis of selected photodetection systems used for displacement measurements by means of the counting fringe technique

• Języki publikacji: PL

Abstrakty

PL

W artykule przedstawiono analizę porównawczą wybranych wieloelementowych układów odbiorczych pola interferencyjnego o skończonym okresie prążków. Dokonano oceny poszczególnych rozwiązań pod kątem uzyskiwanego stosunku składowej zmiennej do składowej stałej sygnału oraz podatności układu na błędy interpolacji związane z niedopasowaniem okresu pola interferencyjnego do okresu wynikającego z wielosegmentowej struktury detektora. Przeprowadzono analizy teoretyczne oraz weryfikację doświadczalną skuteczności zaproponowanych rozwiązań.

EN

An error of setting and adjustment of an interference angle of a reference and measurement beam during measurements is one of significant sources of measurement errors in interferometric displacement measurements by means of the counting fringe technique. The main reasons for these errors are: imperfections of the interferometer optical components and the reflector angle instability during its movement. They are random errors and cannot be easily compensated. Reduction of these errors is possible by means of a multi element photodetection system with reduced interference angle change susceptibility. That kind of system can be used in the interferometers as well as in the optoelectronics displacement transducers which principle of operation is a periodic field detection by a linear array of the photodetector elements. The comparison analysis of the selected periodic field photodetection systems is presented. The contrast and interpolation errors of particular solutions are evaluated. The theoretical analysis and experimental verification of the proposed solution effectiveness were performed.

Słowa kluczowe

PL

pomiary interferometryczne; optoelektroniczny przetwornik przemieszczeń; błędy kąta fazowego; technika zliczania prążków

EN

interferometric measurements; optoelectronics displacement transducer; phase error; counting fringe technique

• Wydawca: Wydawnictwo PAK
• Czasopismo: Pomiary Automatyka Kontrola
• Rocznik: 2010
• Tom: R. 56, nr 1
• Strony: 82--83
• Opis fizyczny: Bibliogr. 7 poz., rys., tab., wzory

Twórcy

autor

Zamiela G.

autor

Dobosz M.

• Wojskowe Centrum Metrologii,

Bibliografia

• [1] Keem T., Gonda S., Misumi I., Huang Q., Kurosawa T.: Removing nonlinearity of a homodyne interferometer by adjusting the gains of its quadrature detector systems. “Applied Optics”, Vol. 43, No 12 (2004), s. 2443-2448.
• [2] Petru F., Cip O.: Problems regarding linearity of data of a laser interferometer with a single frequency laser. “Precision Engineering” nr 23 (1999), s. 39-50.
• [3] Keem T., Gonda S., Misumi I., Huang Q., Kurosawa T.: Simple, real-time method for removing the cyclic error of a homodyne interferometer with a quadrature detector system. “Applied Optics”, Vol. 44, No 17 (2005), s. 3492-3498.
• [4] Jakubiec W., Malinowski J.: Metrologia wielkości geometrycznych. Wydawnictwa Naukowo - Techniczne, Warszawa 2004.
• [5] Nowak J., Zając M.: Optyka kurs elementarny. Oficyna Wydawnicza Politechniki Wrocławskiej, Wrocław 1988.
• [6] Ratajczyk E., Dobosz M.: Laserowa interferometria heterodynowa w metrologii wielkości geometrycznych. „MECHANIK” 1/1981, s. 39-41.
• [7] Pluta M.: Mikrointerferometria w świetle spolaryzowanym. Wydawnictwa Naukowo - Techniczne, Warszawa 1991.