System do pomiaru ugięcia belek krzemowych stosowanych w mikroczujnikach

• Autorzy: Gołębiowski J.

Warianty tytułu

EN

System for the silicon beam deflection measurements in microsensor

• Języki publikacji: PL

Abstrakty

PL

W pracy przedstawiono system do pomiaru ugięcia mikrobelki krzemowej. System składa się z części optycznej oraz sterownika i komputera. Omówiono zasadę działania systemu oraz przeanalizowano dobór parametrów układu do pomiaru niewielkich ugięć rzędu mikrometrów. Przedstawiono oprogramowanie pozwalające na wizualizację aktualnego położenia belki. Zamieszczono wyniki badań oraz określono przydatność systemu do pomiaru niewielkich ugięć.

EN

The system for the measurement of silicon microbeam deflection is presented. It consists of an optical part, a controller and a computer. The principle of the system in operation and the parameter selection for the measurements of the small (micrometers) deflections are described and analysed. The program which allows visualizing the current beam location is also presented. The results show the system usefulness for the micrometer deflection measurements.

Słowa kluczowe

PL

mikro-belki krzemowe; przetworniki optoelektroniczne

EN

silicon microbeam; optoelectronic transducers

• Wydawca: Wydawnictwo PAK
• Czasopismo: Pomiary Automatyka Kontrola
• Rocznik: 2008
• Tom: R. 54, nr 9
• Strony: 631--633
• Opis fizyczny: Bibliogr. 10 poz., rys.

Twórcy

autor

Gołębiowski J.

• Instytut Elektrotechniki Teoretycznej, Metrologii i Materiałonawstwa, Politechnika Łódzka,

Bibliografia

• [1] Prohuń T., Rybak M., Gołębiowski J.,: Zastosowanie metody przetwarzania obrazu do pomiaru grubości membran krzemowych mikroczujników, Mater. XIII Konfer. SIS Sieci i Systemy Informatyczne, Łódź , str. 509-516, 2005.
• [2] Gołębiowski J., Prohuń T., Rybak M.: Pomiar grubości membran krzemowych stosowanych w mikroczujnikach, Elektronika, nr. 1, str. 53-56, 2006.
• [3] Lopez-Higuera J. M.: Fibre sensing technology, Wiley, West Sussex, 2002.
• [4] Coldren L. A., Corzine S. W.: Diode lasers and photonic integrated circuits, Wiley, New York, 1995.
• [5] Donati S.: Photodetectors – devices, circuits and applications, Prentice Hall Inc. 2000.
• [6] Zhong Z. W., Zhao L. P., Lin H. H.: Development and investigation of an optical tilt sensor, Optic Communications, vol. 261, issue 1, pp. 23-28, 2006.
• [7] http://www.hamamatsu.com
• [8] Hosticka B. J.: CMOS sensor systems, Sensors and Actuators A, vol. 66, issue 1-3, pp. 335-341, 1998.
• [9] http://www.atmel.com
• [10] Alabrudziński W.: Mikroprocesorowy system pomiarowy z optycznym czujnikiem do pomiaru położenia strumienia świetlnego, praca dyplomowa, PŁ, 2007.