Korekcja charakterystyk dynamicznych mikroelektronicznych czujników ciśnienia

• Autorzy: Urzędniczok H. , Zakrzewski J.

Warianty tytułu

EN

Dynamic correction of conventional microelectronic pressure sensors

• Języki publikacji: PL

Abstrakty

PL

Konwencjonalne, względnie tanie, mikroelektroniczne czujniki ciśnienia konstruowane są głównie z przeznaczeniem do pomiarów statycznych. Charakterystyki częstotliwościowe takich czujników nie są płaskie, wykazują szczyty rezonansowe. W artykule przedstawiono możliwości korekcji dynamicznej pozwalającej na kilkukrotne rozszerzenie zakresu częstotliwości w którym charakterystyka częstotliwościowa wypadkowa jest płaska. Podano wyniki badań dla kilku typów czujników.

EN

Common use microelectronic pressure sensors are normally not destined for measurement of dynamic pressures. Their frequency response is not flat and very often has a resonance due to acoustic properties of the sensor. The paper presents the possibility of frequency response correction leading to the extension of the flat part of the response upon the resonant frequency. Some practical results for three different microelectronic sensors are given.

Słowa kluczowe

PL

czujniki ciśnienia; korekcja dynamiczna; charakterystyka częstotliwościowa; model dynamiczny

EN

pressure sensoor; frequency response; dynamic model

• Wydawca: Wydawnictwo PAK
• Czasopismo: Pomiary Automatyka Kontrola
• Rocznik: 2004
• Tom: R. 50, nr 6
• Strony: 27--30
• Opis fizyczny: Bibliogr. 9 poz., rys., wykr., wzory

Twórcy

autor

Urzędniczok H.

• Instytut Metrologii i Automatyki Elektrotechnicznej, Politechnika Śląska w Gliwicach

autor

Zakrzewski J.

• Instytut Metrologii i Automatyki Elektrotechnicznej, Politechnika Śląska w Gliwicach

Bibliografia

• [1] Cieplucha J., Horodko L., Kazimierski Z.: „Reconstructing of the Oscillating Pressure signals". Proc. of the XVI IMEKO World Congress, vol. III, Vienna, 2000.
• [2] J Horodko L.: „Analiza oscylacyjnego przepływu w pneumatycznych liniach sygnałowych". Mat Konf. MWK'97 str. 245-249.
• [3] Cieplucha J., Horodko L.: „Pomiary nieustalonego ciśnienia strugi gazu". Mat. Kraj. Kongresu Metrologii, Gdańsk 1998.
• [4] Farre R., Peslin R., Navajas D., Gallina C., Suki B.: „Analysis of the dynamie characteristic of pressure transducers for studying respiratory mechanic at high frequencies". Eur. Respir. Rev., 1991, 1, Rev. 3, pp. 146-150.
• [5] Urzędniczok H., Zakrzewski J.: "Experimental verification of pressure sensors dynamic models". Proc. of 4-th [at. Conference „Measurement 2003", pp. 487-490, Smolenice, 2003.
• [6] Zakrzewski J., Wróbel K.: „Dynamic calibration of low range silicon pressure sensors". IEEE Trans. on Instrumentation and Measurement, vol. 52, Feb. 2003, pp. 493-496.
• [7] Figliola R. S., Beasley D. E.: „Theory and design for mechanical measurements", p. 352, John Wiley & Sons, New York, 1991.
• [8] Urzędniczok H., Zakrzewski J.: ..Pressure pulse generating system for dynamic calibration of silicon low range pressure sensors". Proc. of XVII IMEKO World Congress. Dubrovnik. 2003.
• [9] Urzędniczok H., Zakrzewski J.: „Badania właściwości dynamicznych piezorezystancyjnych czujników ciśnienia", (w przygotowaniu do druku w ZN Politechniki Śląskiej)