Wybrane zastosowania ukłądów MEMS w pomiarach wielkości mechanicznych

• Autorzy: Bojko T.

Warianty tytułu

EN

Selected MEMS applications for mechanical values measurements

• Języki publikacji: PL

Abstrakty

PL

W artykule przedstawiono wybrane zastosowania dostępnych układów MEMS (Micro-Electro-Mechanical-Systems) do pomiarów wielkości mechanicznych. W artykule opisano podstawy, podstawowe technologie oraz aktualny stan wykorzystania układów MEMS. Jako przykład zastosowania układów MEMS opisano system do pomiarów przyśpieszeń wyposażony w interfejs sieci CAN.

EN

In this paper applications of available MEMS microchip for mechanical values measurement are presented. Brief introduction to MEMS technology, basic MEMS manufacturing procesess and application of MEMS structures in measurements are described. As an example of application of the MEMS an accelerometer equiped with CAN bus is presented.

Słowa kluczowe

PL

układy MEMS; pomiary wielkości mechanicznych

EN

MEMS aplications; mechanical values measurements

• Wydawca: Wydawnictwo PAK
• Czasopismo: Pomiary Automatyka Kontrola
• Rocznik: 2003
• Tom: R. 49, nr 11
• Strony: 33--35
• Opis fizyczny: Bibliogr. 10 poz., rys., tab.,

Twórcy

autor

Bojko T.

• Katedra Robotyki i Dynamiki Maszyn, Wydział Inżynierii Mechanicznej i Robotyki, Akademia Górniczo-Hutnicza w Krakowie,

Bibliografia

• [1] www.anaIog.com
• [2] www.st.com
• [3] www.memsic.com
• [4] B. Murari, Is Micromachining Still a Dream or an Industrial Reality? 2001 IEEE/ASME International Conference on Advanced Intelligent Mechatronics(AIM'01) Como, Italy, 8-11 July 2001
• [5] Gregory T. Kovacs, Micromachined transducers sourcebook Stanford University, McGraw-Hill, February 1998, ISBN: 0072907223
• [6] H. Toshhiyoshi, H. Fujita,. Microacuators for optical Switches, 3rdFrance-Japan Congress on Mechatronics, October 1-3, Besancone, France
• [7] J. Gardner, V. Varadan, O. Osama Awadelkarim, „Microsensor MEMS and Smart Devices”, J. Willey, UK, 2001
• [8] www.darpa.com
• [9] microlab.berkeley.edu
• [10] K. Etschberger, Controller Area Network (CAN), K. Etschberger., 2001, ISBN: 3-00-007376-0.