Wiroprądowa metoda badania cienkich niemagnetycznych warstw przewodzących naniesionych na podłoże szklane

• Autorzy: Borek R. , Stec W.

Warianty tytułu

EN

The eddy current method for measurement of nonmagnetic thin conducting films sputtered on a glass substrate

• Języki publikacji: PL

Abstrakty

PL

W artykule przedstawiono wyniki badań metoda wiroprądową cienkich warstw metalicznych. Obiektem badania były warstwy przewodzące ze stali chromoniklowej naniesione na podłoze szklane w procesie napylania magnetronowego. Opisano sposób pomiaru rezystywności warstw oraz oceniono możliwość zastosowania tej metody w procesie technologicznym.

EN

The conducting film made by magnetron sputtering process on a glass substructure are investigated. The eddy current method is used for the resistivity measurement of the films. An application of the method in technological process is considered.

Słowa kluczowe

PL

prądy wirowe; cienkie warstwy przewodzące; pomiary rezystancji

EN

eddy current; conducting thin films; resistivity measurement

• Wydawca: Wydawnictwo PAK
• Czasopismo: Pomiary Automatyka Kontrola
• Rocznik: 2003
• Tom: R. 49, nr 7-8
• Strony: 36--38
• Opis fizyczny: Bibliogr. 6 poz., rys., wykr.

Twórcy

autor

Borek R.

• Zakład Metrologii i Systemów Pomiarowych, Politechnika Rzeszowska

autor

Stec W.

• Zakład Metrologii i Systemów Pomiarowych, Politechnika Rzeszowska

Bibliografia

• [1] R. Borek, W. Stec: Zastosowanie prądów wirowych do badania cienkich warstw przewodzących naniesionych na podłoże szklane. Materiały VIII MSM. Metody i technika przetwarzania sygnałów w pomiarach fizycznych. Rzeszów 2000.
• [2] A. Jellonek, Z. Karkowski: Miernictwo radiotechniczne. WNT. Warszawa 1972.
• [3] Pedersen L. B., Magnusson K., Zhengsheng Y.: Eddy Current Testing of Thin Layers Using Co-planar Coils. Nonedstr Eval. Springer-Verlag 2000.
• [4] Tian G. Y., Zhao Z. X., Baines R. W.: The research of inhomogeneity in eddy current sensors. Sensors and Actuators. Elsevier 1998.
• [5] Stec W.: Badanie cienkich warstw przewodzących metodą prądów wirowych. Zeszyty Naukowe Politechniki Rzeszowskiej. Elektrotechnika z. 22. Rzeszów 2002.
• [6] K. Marszałek, E. Leja: Potokowa linia technologiczna do pokrywania wielkogabarytowych podłoży. VI Konferencja Naukowa Technologia Elektronowa ELTE'97. Tom 2. Kraków 1997.