Mikrokomputerowy system sterowania przemysłową linią próżniową do nanoszenia cienkich warstw metodą jonowego rozpylania magnetronowego

• Autorzy: Marszałek K. , Dziadecki A. , Żegleń T.

Warianty tytułu

EN

Microcomputer control system for an industrial, technological equipment for thin film deposition by means of the ion sputtering method

• Języki publikacji: PL

Abstrakty

EN

The paper presents a description of a microcomputer control system for an industrial, technological equipment for thin film deposition by means of the ion sputtering method. The construction of the vacuum part of the equipment as well as supply and controlling system is presented. Computer program with different working modes of the system and the methods of controlling such system parameters like the sputtering current, transport velocity of the substrates, pressure of the working gas and substrate temperature.

Słowa kluczowe

PL

mikrokomputerowy system sterowania; przemysłowa linia próżniowa; metoda jonowego rozpylania magnetronowego

EN

microcomputer control system; technological equipment

• Wydawca: Wydawnictwo PAK
• Czasopismo: Pomiary Automatyka Kontrola
• Rocznik: 2002
• Tom: R. 48, nr 3
• Strony: 5--8
• Opis fizyczny: Bibliogr. 8 poz., rys.

Twórcy

autor

Marszałek K.

• Akademia Górniczo-Hutnicza, Kraków

autor

Dziadecki A.

• Akademia Górniczo-Hutnicza, Kraków

autor

Żegleń T.

• Akademia Górniczo-Hutnicza, Kraków

Bibliografia

• 1. A. Dziadecki, J. Grzegorski, J. Skotniczny. Sposób i układ do separacji galwanicznej sygnałów elektrycznych. Patent Nr 163 547 udzielony 17.11.1993
• 2. A. Dziadecki. J. Grzegorski, K. Marszałek, J. Skotniczny, T. Żegleń. Układ do zasilania magnetronowego urządzenia rozpylającego. Zgł. P--339930 z dnia 25.04.2000
• 3. K. Marszałek, E. Lej,. Potokowa Linia Technologiczna do pokrywania wielkogabarytowych podłoży, Mat. VI Konferencji ELTE'97, Krynica 1997, 388-391
• 4. K. Marszałek, E. Leja, Przemysłowe urządzenie do produkcji powłok dekoracyjnych ze źródłem łukowym. Proc. 10th International Summer School „Modern Plasma Surface Technology”, Mielno 1998, 283-292.
• 5. K. Marszałek, E. Leja, Industrial Arc Based Equipment for decorative coating deposition, Nukleonika vol. 44, no 2, 357-362,1999.
• 6. K. Marszałek, Wielkogabarytowe źródła jonowe, Mat. Sympozjum „Techniki jonowe”. Szklarska Poręba, 1999, 23-26
• 7. PCL812PG Multilab Card with Programmable Gain – User`s Manual Advantech Co. Ltd.
• 8. PCL726 Six Channel D/A Output Card – User`s Manual Advantech Co. Ltd.