Klimatyzacja pomieszczeń produkcji mikroprocesorów

• Autorzy: Sompoliński M. , Starosielec B.

Warianty tytułu

EN

Air conditioning of microprocessors manufacturing spaces

• Języki publikacji: PL

Abstrakty

PL

W artykule opisano procesy produkcji mikroprocesorów oraz etapy wytworzenia warstw półprzewodnikowych. Zwrócono uwagę na szczególną specyfikę stosowanych w fabrykach układów funkcjonalnych pomieszczeń technologicznych i ich wpływ na rozwiązania urządzeń klimatyzacyjnych oraz systemy nawiewu powietrza.

EN

In article described microprocessors production processes and semiconductor layers manufacturing stages. Authors noticed unique specifics of usually used space functionality in semiconductors fabs and its influence on air conditioning system solutions.

Słowa kluczowe

PL

klimatyzacja; mikroprocesor; produkcja

EN

air-condition; microprocessor; production process

• Wydawca: Ośrodek Informacji "Technika instalacyjna w budownictwie''
• Czasopismo: Instal
• Rocznik: 2011
• Tom: nr 7/8
• Strony: 18--22
• Opis fizyczny: Bibliogr. 12 poz., rys., tab.

Twórcy

autor

Sompoliński M.

autor

Starosielec B.

• Politechnika Wrocławska, Wydział Inżynierii Środowiska

Bibliografia

• [1] ASHRAE Handbook 2007 HVACA pplications SI Edition.
• [2] Beck R. B.: Technologia krzemowa. Warszawa, PWN 1991. ISBN 8301106743; ISBN 9788301106744
• [3] Bieńkowski M.: Produkcja procesorów i półprzewodników - od piasku do procesora. FrazPC [on-line]. Dostępne w Internecie: http://www.frazpc.pl/artykuly/265051,Produkcja-procesorowi polprzewodnikow-od piasku-do-procesora.html
• [4] Charkowska A.: Nowoczesne systemy klimatyzacji w obiektach służby zdrowia. Gdańsk, IPPU M asta 2000. ISBN 83-913895-0-2
• [5] Cleanroom Design. Second Edition. Edited by Whyte W . Chichester, John Wiley Sons, Ltd. 2001. ISBN 0-471-94204-9
• [6] May G. S., Spanos C. J.: Fundamentals of Semiconductor Manufacturing and Process Control. New Jersey, John Wiley Sons, Inc. 2006. ISBN -10: 0-471-78406-0; ISBN -13: 978-0-471-78406-7
• [7] Microfabrication and Nanomanufacturing. Edited by Jackson M . Boca Raton, CRC Press 2006. ISBN -10: 0-8247-2431-3; ISBN -13: 978-0-8247-2431-3
• [8] Porowski M., Szczechowiak E.: Klimatyzacja pomieszczeń czystych. Poznań, Termedia 1999. ISBN 83-908325-6-9
• [9] Recknagel H., Sprenger E., Schramek E. R.: Kompendium wiedzy ogrzewnictwo, klimatyzacja, ciepła woda, chłodnictwo. Wrocław, Omni Scala 2008. ISBN 978-83-926833-6-0
• [10] Whyte W.: Cleanroom Technology. Chichester, John W iley S ons, L td. 2001. ISBN 0-471-86842-6
• [11] Widmann D., Mader H., Friedrich H.: Technology of Integrated Circuits. Berlin, Springer-Verlag 2000. ISBN 3-540-66199-9
• [12] Materiały umieszczone na stronach internetowych: www.envirco.com; www.ihp-microelectronics.com; www.intel.com; www.wafercare.com; www.axcelis.com; www.sokudo.com