Wybrane problemy zastosowania techniki ablacji laserowej do wytwarzania cienkich warstw BaCeO3

• Autorzy: Kopia A. , Wójtowicz A. , Suliga I. , Drożdż P.

Warianty tytułu

EN

Selected problems of laser ablation process for produced thin films BaCeO3

• Konferencja: Letnia Szkoła Inżynierii Powierzchni (4 ; 07-08.10.2010 ; Kielce, Polska)
• Języki publikacji: PL

Abstrakty

PL

Przedmiotem badań były cienkie warstwy BaCeO3, które miały stanowić element przewodzący w piezorezystywnym czujniku gazu. Zakładane funkcje warstwy BaCeO3 skłaniały do zastosowania przy jej wytwarzaniu techniki ablacji laserowej. Próby wytwarzania warstw poprzedzono symulacją składu fazowego strugi wzbudzonej przez wiązkę laserową, w zmiennych warunkach temperaturowych, przy różnym składzie i ciśnieniu atmosfery w komorze ablacyjnej. Symulację przeprowadzono w programie FactSage™5.4.1, dla układu BaO-CeO2 i BaO-CeO2-Si. W pracy zastosowano oryginalną metodę oceny grubości warstw na podstawie efektów interferencyjnych.

EN

Thin BaCeO3 layers were produced by the laser ablation technique on Si (100) substrate. Layers were deposited with the following parameters: temperature: T = 20, 500, 600, 700°C, type of atmosphere: vacuum or oxygen. The obtained layers were examined by the X-ray diffraction phase analysis in Bragg-Brentano geometry and by structural observation in a scanning electron microscope (SEM) with EDS analyses. Before laser ablation process we simulated the phase composition using FactSageTM5.4.1 program for system BaO-CeO2 and BaO-CeO2 -Si. In this paper we proposed the original methods for calculation the thickness of the layers using the interference effects.

Słowa kluczowe

PL

ablacja laserowa; perowskit BaCeO3

EN

laser ablation; perovskite BaCeO3

• Wydawca: Wydawnictwo Politechniki Świętokrzyskiej
• Czasopismo: Zeszyty Naukowe Politechniki Świętokrzyskiej. Nauki Techniczne
• Rocznik: 2011
• Tom: Z. 16
• Strony: 57--66
• Opis fizyczny: Bibliogr. 5 poz., rys., tab., wykr.

Twórcy

autor

Kopia A.

autor

Wójtowicz A.

autor

Suliga I.

autor

Drożdż P.

• Akademia Górniczo- Hutnicza, Katedra Inżynierii Powierzchni i Analiz Materiałów, al. Mickiewicza 30, 30-059 Kraków

Bibliografia

• 1. Yamanaka S., Fujikane M., Hamaguchi T., Muta H., Oyama T., Matsuda T., Kobayashi S., Kurosaki K.: Thermophysical properties of BaZrO3 and BaCeO3. Journal of Alloys and Compounds, 359 (2003), pp. 109-113.
• 2. Ouzaouit K., Benlhachemi A., Benyaich H., Dallas J.P., Villain S., Musso J. A., Gavarri J.R.: Electrical conductivity of BaCeO3 synthesized by new sol-gel method. Journal of Condensed Matter, 7 (2006), pp. 94-97.
• 3. He T., Jia C.L., Ehrhart P., Meuffels P.: On the preparation and microstructure of Y-doped BaCeO3 perovskite thin films. Solid State Ionics, 89 (1996), pp. 9-12.
• 4. Nerk N., Gerri M., Marine W.J., Pailharey D., Mathey Y., Sentis M., Delaporte P., Forestier B., Fontaine B.: Microstructure of Y---Ba---Cu---O superconducting thin films deposited by high power and high repetition rate excimer lasers. Mat. Sci. and Engineering B, B14 (1992), p. 134.
• 5. Wójtowicz A.: Dobór warunków wytwarzania warstw BaCeO3 techniką ablacji laserowej. Praca dyplomowa, AGH, 2009.