Zastosowanie organizacji połączeń tytanu i krzemu w technologii krzemowej

• Autorzy: Krompiec S. , Majewski J. , Matysek-Majewska D. , Waczyński K.

Warianty tytułu

EN

Application of organic compounds of titanium and silicon on the technology of silicon

• Języki publikacji: PL

Abstrakty

PL

Przedstawiono badania z zastosowaniem organicznych kompleksów tytanu oraz wybranych związków fosforu, boru, arsenu i antymonu do modyfikacji powierzchni płytek krzemowych, stosowanych w elektronice. Z szeregu przetestowanych kompleksów tytanu najlepsze właściwości dla otrzymania antyrefleksyjnych powłok tlenku tytanu (IV) wykazał diizopropoxy-bis(2,4-pentanodioniano)tytan(IV). Do wytwarzania szkliw domieszkowych wytypowano tetraetoksysilan, kwas borowy(III), kwas fosforowy(V), chlorek antymonu(III) i kwas arsenowy(V).

EN

The investigations on the application of complexes of titanium and selected phosphorus, boron, arsenic and antimony compounds for the modification of the obtaining thesurface of silicone plates for electronic purposes have been presented. The best properties for obtaining the titanium dioxide antireflective coatings performs, among number of examined titanium complexes, diizopropoxobis(2,4-pentanedionato)titanium. Tetraethoxysilane, boric acidphosphoric acid, antimonium (III) chloride and arsenic acid were chosen for the preparation of doping glazes.

Słowa kluczowe

PL

technologia krzemowa; płytki krzemowe; tytan; krzem

• Wydawca: Wydawnictwo Politechniki Śląskiej
• Czasopismo: Zeszyty Naukowe. Chemia / Politechnika Śląska
• Rocznik: 1998
• Tom: z. 137
• Strony: 227--234
• Opis fizyczny: bibligr. 7 poz., tab., rys.

Twórcy

autor

Krompiec S.

autor

Majewski J.

autor

Matysek-Majewska D.

autor

Waczyński K.

• Politechnika Śląska 44-100 Gliwice ul Krzywoustego 6 tel.: [phone]