Mikrostruktura i skład fazowy plazmowych warstw Zn-Bi-0.

• Autorzy: Ziaja J. , Mielcarek W.

Warianty tytułu

EN

Microstructure and phase composition of plasma-deposited zn-bi-0 thin films.

• Konferencja: VI Konferencja Naukowa Postępy w Elektrotechnologii, Jamrozowa Polana, 20-22 wrzesień 2006
• Języki publikacji: PL

Abstrakty

PL

W pracy przedstawiono wyniki badań mikroskopowych i rentgenograficznych cienkich warstw warystorowych otrzymanych metodą, rozpylania magnetronowego. Wykazano, że stosowanie gęstości mocy powyżej 5 Wcm -2 podczas rozpylania metalicznych targetów Zn-Bi-0 powoduje powstawanie kulistych skupisk metalicznego bizmutu. Efekt ten występuje również gdy gazem roboczym jest czysty tlen. Wykazano, że proces rozpylania targetów metalicznych i tlenkowych jest stechiometryczny dla mocy większych od 7 W-2..

EN

In this work the microscopic and X-ray investigations of thin film ZnO varistors are presented. Processing of the thin film varistors proved effective when the power dissipated into the Zn-Bi metallic or ZnO-Bi2O3 oxide target is lower than 5 Wcm-2 . Otherwise in case of Zn-Bi metallic targets the clusters of metallic bismuth occur, even when the sputtering is carried out in atmosphere of pure oxygen. To get stoichiometric ratio Zn:O and Bi:O in the deposited material, the power dissipated into the target shall be higher than 7 Wcm-2.

Słowa kluczowe

PL

rozpylanie magnetronowe; warystory; ZnO

EN

ZnO; varistors

• Wydawca: Oficyna Wydawnicza Politechniki Wrocławskiej
• Czasopismo: Prace Naukowe Instytutu Podstaw Elektrotechniki i Elektrotechnologii Politechniki Wrocławskiej. Konferencje
• Rocznik: 2006
• Tom: Vol. 44, nr 18
• Strony: 186--188
• Opis fizyczny: Bibliogr. 6 poz.

Twórcy

autor

Ziaja J.

autor

Mielcarek W.

• Politechnika Wrocławska, Instytut Podstaw Elektrotechniki i Elektrotechnologii.

Bibliografia

• [1] Valeyev Kh. S., Knayazev V. A., Drozdov N. G., Electrichestvo, 4, 72 (1964).
• [2] Kosmaman M. S., Pettsol'd E. G., Uch. Zap. Leningr. Gos. Pedagog Inst. Im Gertsena, 207, 191 (1961).
• [3] Matsuoka M., Masuyama T., Iida Y., ,,Vollage nonlinearity of zinc oxide doped with alkali-earth metal oxide", Jpn. J. Appl. Phys. 8, 1275-76 (1969)
• [4] Masuyama T., Matsuoka M., Current dependence of voltage nonlinearity in SiC varistors, Jpn. J. Appl. Phys. 7, pp. 12794-(1968).
• [5] Ziaja J., Magnetronowa metoda otrzymywania cienkich warstw Zn-B-O, Proc. V Konferencja Naukowa Postępy w Elektrotechnologii, Jamrozowa Polana 2003, ss. 229-232.
• [6] Ziaja Jan, ZnO thin film deposition with pulsed magnetron sputtering, wysłane do Thin Solid Films.