Pomiar odkształceń mechanicznych w polimerach elektroaktywnych za pomocą mikroczujników mems.

• Autorzy: Żyłka P. , Janus P.

Warianty tytułu

EN

Measurement of mechanical displacements in electro-active polymers by means of MEMS microsensors.

• Konferencja: VI Konferencja Naukowa Postępy w Elektrotechnologii, Jamrozowa Polana, 20-22 wrzesień 2006
• Języki publikacji: PL

Abstrakty

PL

Artykuł omawia dźwigniowe, krzemowe mikroczujniki przemieszczenia, wykonane w technologii MEMS oraz próby ich zastosowania do pomiarów odkształceń elektrostatycznych aktuatorów dielektrycznych (DEA). Prezentowany jest system pomiarowy z piezorezystywnym czujnikiem MEMS oraz wyniki pomiarów odkształceń, uzyskane dla modelowych przetworników elektromechanicznych i wybranych elastomerowych materiałów elektroaktywnych.

EN

The paper discuss MEMS cantilever displacement microsensors and attempts to use them in measurements of thickness variations in dielectric electrostatic actuators (DEA). Test set-up, using piezo-resistive MEMS sensor as well as results of measurements performed for model electromechanical transducers and selected electroactive elastomer materials are also presented.

Słowa kluczowe

PL

mikrodźwignia; dylatometr; dielektryczny aktuator elektrostatyczny; polimer elektroaktywny

EN

microsensors; electroactive elastomer

• Wydawca: Oficyna Wydawnicza Politechniki Wrocławskiej
• Czasopismo: Prace Naukowe Instytutu Podstaw Elektrotechniki i Elektrotechnologii Politechniki Wrocławskiej. Konferencje
• Rocznik: 2006
• Tom: Vol. 44, nr 18
• Strony: 65--68
• Opis fizyczny: Bibliogr. 7 poz.

Twórcy

autor

Żyłka P.

autor

Janus P.

• Politechnika Wrocławska, Instytut Podstaw Elektrotechniki i Elektrotechnologii

Bibliografia

• [1] Watanabe M., Shirat H., Tirai T., Ionic polarisation in bending-electrostricive response of polyurethane films, J. Appl. Phys., Vol. 90 (2001). No. 12, pp. 6316-6320.
• [2] Bar-Cohen L, Sherrit S., Lih S., Characterisation of the Electromechanical Properties of EAP materials. Proceedings of EAPAD SPIE'S 8th Annual International Symposium on Smart Structures and Materials, 5-8 March 2001. Newport CA, paper No. 4329-43.
• [3] Żyłka P., Elastomery akrylowe jako elektrostatyczne aktuatory polimerowe. Pola elektrostatyczne i elektromagnetyczne - nowe materiały i technologie EL-TEX 2004, VI Międzynarodowe sympozjum, Łódź, 25-26 listopada 2004. ss. 216-221.
• [4] Perline R., Kornbluch R., Pei Q., Joseph J., High-speed electrically actuated elastomers with strain greater than 100%: Science, Vol. 287 (2000) No. 5454, pp. 836-840.
• [5] Su J., Moses P., Zhang Q. M., A bimorf based dilatometer for field induced strain measurement in soft and thin free standing polymer films, Rev. Sci. Instr. Vol. 69 (1998), No. 6, pp. 2480-2484.
• [6] Domański K., Janus P., Grabtec P. et ai, Design, fabrication and characterization of force sensors for nanorobot. Microelectronic Engineering, Vol. 78-79(2005), pp. 171-177.
• [7] Ma W., Cross L. E, Mechanisms for high strain in electroactive actuator materials, Piezoelectric Materials in Devices, ed. By N. Setter, Ceramics Laboratory EPFL, Lausanne, Switzerland, 2002.