Powiadomienia systemowe
- Sesja wygasła!
- Sesja wygasła!
- Sesja wygasła!
Identyfikatory
Warianty tytułu
Measurement of mechanical displacements in electro-active polymers by means of MEMS microsensors.
Konferencja
VI Konferencja Naukowa Postępy w Elektrotechnologii, Jamrozowa Polana, 20-22 wrzesień 2006
Języki publikacji
Abstrakty
Artykuł omawia dźwigniowe, krzemowe mikroczujniki przemieszczenia, wykonane w technologii MEMS oraz próby ich zastosowania do pomiarów odkształceń elektrostatycznych aktuatorów dielektrycznych (DEA). Prezentowany jest system pomiarowy z piezorezystywnym czujnikiem MEMS oraz wyniki pomiarów odkształceń, uzyskane dla modelowych przetworników elektromechanicznych i wybranych elastomerowych materiałów elektroaktywnych.
The paper discuss MEMS cantilever displacement microsensors and attempts to use them in measurements of thickness variations in dielectric electrostatic actuators (DEA). Test set-up, using piezo-resistive MEMS sensor as well as results of measurements performed for model electromechanical transducers and selected electroactive elastomer materials are also presented.
Rocznik
Tom
Strony
65--68
Opis fizyczny
Bibliogr. 7 poz.
Bibliografia
- [1] Watanabe M., Shirat H., Tirai T., Ionic polarisation in bending-electrostricive response of polyurethane films, J. Appl. Phys., Vol. 90 (2001). No. 12, pp. 6316-6320.
- [2] Bar-Cohen L, Sherrit S., Lih S., Characterisation of the Electromechanical Properties of EAP materials. Proceedings of EAPAD SPIE'S 8th Annual International Symposium on Smart Structures and Materials, 5-8 March 2001. Newport CA, paper No. 4329-43.
- [3] Żyłka P., Elastomery akrylowe jako elektrostatyczne aktuatory polimerowe. Pola elektrostatyczne i elektromagnetyczne - nowe materiały i technologie EL-TEX 2004, VI Międzynarodowe sympozjum, Łódź, 25-26 listopada 2004. ss. 216-221.
- [4] Perline R., Kornbluch R., Pei Q., Joseph J., High-speed electrically actuated elastomers with strain greater than 100%: Science, Vol. 287 (2000) No. 5454, pp. 836-840.
- [5] Su J., Moses P., Zhang Q. M., A bimorf based dilatometer for field induced strain measurement in soft and thin free standing polymer films, Rev. Sci. Instr. Vol. 69 (1998), No. 6, pp. 2480-2484.
- [6] Domański K., Janus P., Grabtec P. et ai, Design, fabrication and characterization of force sensors for nanorobot. Microelectronic Engineering, Vol. 78-79(2005), pp. 171-177.
- [7] Ma W., Cross L. E, Mechanisms for high strain in electroactive actuator materials, Piezoelectric Materials in Devices, ed. By N. Setter, Ceramics Laboratory EPFL, Lausanne, Switzerland, 2002.
Typ dokumentu
Bibliografia
Identyfikator YADDA
bwmeta1.element.baztech-article-BPW9-0002-0027