Reflectance study of SiO2/Si3N4 dielectric Bragg reflectors

• Autorzy: Szerling A. , Wawer D. , Hejduk K. , Piwoński T. , Wójcik A. , Mroziewicz B. , Bugajski M.
• Języki publikacji: EN

Abstrakty

EN

We present the results of reflectance investigations into SiO2/Si3N4 dielectric distributed Bragg reflectors (DBR). The dielectric multilayers forming reflectors have been deposited by plasma enhanced chemical vapour deposition (PECVD) on silicon substrates. Such structures can be utilised in vertical cavity surface emitting lasers (VCSELs) and resonant cavity light emitting diodes (RC LEDs)

• Wydawca: Oficyna Wydawnicza Politechniki Wrocławskiej
• Czasopismo: Optica Applicata
• Rocznik: 2002
• Tom: Vol. 32, nr 3
• Strony: 523--527
• Opis fizyczny: bibliogr. 5 poz.

Twórcy

autor

Szerling A.

autor

Wawer D.

autor

Hejduk K.

autor

Piwoński T.

autor

Wójcik A.

autor

Mroziewicz B.

autor

Bugajski M.

• Institute of Electron Technology, al. Lotników 32/46, 02-668 Warszawa