Powiadomienia systemowe
- Sesja wygasła!
- Sesja wygasła!
Tytuł artykułu
Autorzy
Wybrane pełne teksty z tego czasopisma
Identyfikatory
Warianty tytułu
Numerical correction of measurement errors of the homodyne laser interferometer
Języki publikacji
Abstrakty
Przedstawiono podstawy teoretyczne wyznaczenia przemieszczenia reflektora pomiarowego jednoczęstotliwościowego interferometru laserowego ze szczególnym uwzględnieniem możliwych błędów pomiaru wywołanych odstępstwem sygnałów pomiarowych od teoretycznie zakładanych. Zaproponowano i zweryfikowano doświadczalnie algorytm numerycznej kompensacji błędów sygnałów pomiarowych.
Theoretical basis of homodyne interferometer measuring reflector displacement evaluation are presented. Particular attention has been paid to measurement errors caused by possible distortions of measuring signals. Algorithm of numerical correction of the measuring signals distortions has been proposed and experimentally verified.(Numerical correction of measurement errors of the homodyne laser interferometer)
Wydawca
Czasopismo
Rocznik
Tom
Strony
121--126
Opis fizyczny
Bibliogr. 8 poz., rys.
Twórcy
autor
autor
autor
- Politechnika Warszawska, Wydział Mechatroniki, Instytut Metrologii i Inżynierii Biomedycznej, dobosz@mchtr.pw.edu.pl
Bibliografia
- [1] Cosijns, S.J.A.G. Displacement laser interferometry with subnanometer uncertainty. TECHNISCHE UNIVERSITEIT EINDHOVEN, (2004). PhD thesis
- [2] Dobosz M. i inni. Raport końcowy z realizacji z projektu rozwojowego. MNiSW nr R01 011 02 „Interferometryczny system pomiarowy z diodą laserową” (2011)
- [3] Keem T., Gonda S., Misumi I., Huang Q., Kurosawa T. Simple, real-time method for removing the cyclic error of a homodyne interferometer with a quadrature detector system. Applied Optics, 44(17), (2005) 3492-3498
- [4] Keem T., Gonda S., Misumi I., Huang Q., Kurosawa T. Removing nonlinearity of a homodyne interferometer by adjusting the gains of its quadrature detector systems. Applied Optics, 43(12), (2004) 2443-2448
- [5] Petru F., Cip O. Problems regarding linearity of data of a laser interferometer with a single frequency laser. Precision Engineering, 23, (1999) 39-50
- [6] Downs M. Birch K.P., Cox M.G., Nunn J.W. Verification of a polarization-insensitive optical interferometer system with subnanometric capability. Precision Engineering,17(2), (1995) 84-88.
- [7] Hill H. Systems and methods for quantifying nonlinearities in interferometry systems. US6252668 B1, 2000.
- [8] Heydemann P. Determination and correction of quadrature fringe measurement errors in interferometers. Applied optics, 20(19), (1981) 3382-3384.
Typ dokumentu
Bibliografia
Identyfikator YADDA
bwmeta1.element.baztech-article-BPS3-0025-0043