Numeryczna korekcja błędów sygnałów pomiarowych w jednoczęstotliwościowym interferometrze laserowym

• Autorzy: Dobosz M. , Czapski M. , Zamiela G.

Warianty tytułu

EN

Numerical correction of measurement errors of the homodyne laser interferometer

• Języki publikacji: PL

Abstrakty

PL

Przedstawiono podstawy teoretyczne wyznaczenia przemieszczenia reflektora pomiarowego jednoczęstotliwościowego interferometru laserowego ze szczególnym uwzględnieniem możliwych błędów pomiaru wywołanych odstępstwem sygnałów pomiarowych od teoretycznie zakładanych. Zaproponowano i zweryfikowano doświadczalnie algorytm numerycznej kompensacji błędów sygnałów pomiarowych.

EN

Theoretical basis of homodyne interferometer measuring reflector displacement evaluation are presented. Particular attention has been paid to measurement errors caused by possible distortions of measuring signals. Algorithm of numerical correction of the measuring signals distortions has been proposed and experimentally verified.(Numerical correction of measurement errors of the homodyne laser interferometer)

Słowa kluczowe

PL

interferometryczny pomiar przemieszczeń; sygnały kwadraturowe; błędy pomiaru interferometrem; korekcja numeryczna

EN

distance measuring interferometer; quadrature signals; interferometer measurement; errors; numerical correction

• Wydawca: Wydawnictwo SIGMA-NOT
• Czasopismo: Przegląd Elektrotechniczny
• Rocznik: 2012
• Tom: R. 88, nr 10a
• Strony: 121--126
• Opis fizyczny: Bibliogr. 8 poz., rys.

Twórcy

autor

Dobosz M.

autor

Czapski M.

autor

Zamiela G.

• Politechnika Warszawska, Wydział Mechatroniki, Instytut Metrologii i Inżynierii Biomedycznej,

Bibliografia

• [1] Cosijns, S.J.A.G. Displacement laser interferometry with subnanometer uncertainty. TECHNISCHE UNIVERSITEIT EINDHOVEN, (2004). PhD thesis
• [2] Dobosz M. i inni. Raport końcowy z realizacji z projektu rozwojowego. MNiSW nr R01 011 02 „Interferometryczny system pomiarowy z diodą laserową” (2011)
• [3] Keem T., Gonda S., Misumi I., Huang Q., Kurosawa T. Simple, real-time method for removing the cyclic error of a homodyne interferometer with a quadrature detector system. Applied Optics, 44(17), (2005) 3492-3498
• [4] Keem T., Gonda S., Misumi I., Huang Q., Kurosawa T. Removing nonlinearity of a homodyne interferometer by adjusting the gains of its quadrature detector systems. Applied Optics, 43(12), (2004) 2443-2448
• [5] Petru F., Cip O. Problems regarding linearity of data of a laser interferometer with a single frequency laser. Precision Engineering, 23, (1999) 39-50
• [6] Downs M. Birch K.P., Cox M.G., Nunn J.W. Verification of a polarization-insensitive optical interferometer system with subnanometric capability. Precision Engineering,17(2), (1995) 84-88.
• [7] Hill H. Systems and methods for quantifying nonlinearities in interferometry systems. US6252668 B1, 2000.
• [8] Heydemann P. Determination and correction of quadrature fringe measurement errors in interferometers. Applied optics, 20(19), (1981) 3382-3384.