Modelowanie optycznego elementu przełącznicy OXC opartego na kątowym napędzie elektrostatycznym MEMS

• Autorzy: Sulima R.

Warianty tytułu

EN

Modeling the optical element of the OXC switch based, on angular electrostatic drive

• Języki publikacji: PL

Abstrakty

PL

Przełączniki optyczne MEMS wypierają dotychczasowe przełączniki elektroniczne. Niniejszy artykuł przedstawia rozwiązanie konstrukcje do wykorzystania w sterowaniu mikrolusterkami w sieciach światłowodowych. Zaprojektowany układ napędowy charakteryzuje się dużymi kątami wychylenia elementu czynnego, co zapewnia szerokie stosowanie. Konstrukcja opiera się o elektrostatyczny aktuator grzebieniowy o ruchu wahadłowym.

EN

Optical MEMS switches supplant the up to now used electronic switches. The present paper presents designs for control using MEMS in waveguide nets. The drive system show here is featured by big deflection angles of the active element which ensures wide application. The design is based on an electrostatic comb-drive aktuator with perpendicular moment. The comb-drive provides high amounts of energy thus high driving torques sufficient to move the scanning mirror.

Słowa kluczowe

PL

MEMS; przełącznik optyczny; napęd grzebieniowy; mikrolusterko

• Wydawca: Sieć Badawcza Łukasiewicz - Instytut Elektrotechniki
• Czasopismo: Prace Instytutu Elektrotechniki
• Rocznik: 2007
• Tom: Z. 231
• Strony: 135--150
• Opis fizyczny: Bibliogr. 9 poz., rys., tab.

Twórcy

autor

Sulima R.

• Zakład Maszyn Elektrycznych, Instytut Elektrotechniki,

Bibliografia

• 1. F. A. Chollet, G. M. Hegde, A. K. Asundi, A. Aiqun Liu: "Simple Extrashort External –Cavity Laser Self-Mixing Interferometer for Acceleration Sensing" Proc. SPIE -The Int. Society for Optical Engineering, vol. 4596, 2001, pp. 272-279.
• 2. K. J. Kearney , Z. Ninkov :"Characterization of a digital micromirror device for use as an optical mask in imaging and spectroscopy" Proc. SPIE -The Int. Society for Optical Engineering, vol. 3292, 1998, pp. 81-92.
• 3. L. Fan , S. Gloeckner, P. D. Dobblelaere, S. Patra, e.a. :"Digital MEMS Switch For Planar Photonic Crossconnects" OFC 2002 pp. 93-94.
• 4. L. J. Hornbeck, .Deformable-mirror spatial light modulators", Spatial Light Modulators and Applications III, SPIE Critical Reviews, vol. 1150, Aug 1989, pp 86-102.
• 5. P. Himiner, D. Dickensheets: „High speed, large deflection deformable mirrors for focus and spherical aberration control" Proc. 2002 IEEE/LEOS Int. Conference on optical MEMS (cat. No. 02EX610), 2002, pp. 193-194.
• 6. P. R. Patterson, D. Hah e.a: "An angular vertical comb drive actuator for scanning micromirrors", MOEMS 2001.
• 7. R. A. Conant, J. T. Nee, K. Y. Lau, R. S. Muller: "A Flat High-Frequency Scanning Micromirror". Technical Digest 2000 Solid-State Sensor & Actuator Workshop, Hilton Head, SC, pp 6 - 9
• 8. U. Hofmann, S. Muehlmann, m. Witt e.a : “Electrostatically driven micromirrors for a miniturized confocal laser scanning microscope" Proc. SPIE -The Int. Society for Optical Engineering, vol. 3878, 1999, pp. 29-38.
• 9. R. Sulima: “Modeling Electrostatic Microactuators Used for Driving Scanning Mirrors" international conference "Mechatronics, Robotics and Biomechanics" Trest 2005, Engineering mechanics vol. 12, no A1, pp. 301-309