Zastosowanie światłowodowych czujników odbiciowych do pomiaru przemieszczeń w ruchomych strukturach MEMS

• Autorzy: Gołębiowski J. , Guzowski B. , Milcarz Sz.

Warianty tytułu

EN

The application of optical fiber reflectance sensors in measuring displacements of the movable MEMS structures

• Języki publikacji: PL

Abstrakty

PL

Pokazano konstrukcję natężeniowego światłowodowego czujnika odbiciowego do pomiaru przemieszczeń w ruchomych strukturach MEMS. Przedstawiono system pomiarowy oraz wyniki pomiarów. Analizowano wpływ konstrukcji i parametrów czujnika oraz układu pomiarowego na charakterystyki wyjściowe ze szczególnym uwzględnieniem zmian współczynnika odbicia.

EN

The construction of intensity optical fiber reflectance sensor used for measuring displacements of the movable MEMS structures was shown. The measurement system and the measurement results were presented. The influence of the construction and the parameters of the sensor as well as the measurement system on the output characteristics with particular emphasis on the changes in refractive index was analyzed.

Słowa kluczowe

PL

czujniki światłowodowe odbiciowe; pomiar przemieszczeń; układy optoelektroniczne; MEMS

EN

optical fibre reflectivity sensors; measurement of displacement; optoelectronic system; MEMS

• Wydawca: Wydawnictwo SIGMA-NOT
• Czasopismo: Przegląd Elektrotechniczny
• Rocznik: 2012
• Tom: R. 88, nr 10b
• Strony: 117--119
• Opis fizyczny: Bibliogr. 7 poz., rys.

Twórcy

autor

Gołębiowski J.

autor

Guzowski B.

autor

Milcarz Sz.

• Politechnika Łódzka, Katedra Przyrządów Półprzewodnikowych i Optoelektronicznych, ul. Wólczańska 211/215, 90-924 Łódź,

Bibliografia

• [1] Vazquez C., Gonzalo A.B., Vargas S., Montalvo J.: Multisensor system using plastic optical fibers for intrinsically safe level measurements, Sensors and Actuators A 116 (2004) 22-32.
• [2] Golebiowski J.: Optical PMMA fibre sensor used in the temperature measurements, Proceedings of conference Microtherm, Łódź, 2009.
• [3] Hoffmann M., Bezzaovi H., Voges E.: Micromechanical cantilever resonators with integrated optical interrogation, Sensors and Actuators A 44 (1994) 71-74.
• [4] Lopez-Higuera J.M.: Fibre sensing technology, Wiley&Sons, West Sussex, England, 2002
• [5] Bim S., Mahadevan Pillai V.P., Chandrasekaran N. : Fibre optic displacement sensor for the measurement of amplitude and frequency of vibration, Optics & Laser Technology 39 (2007) 1537–1543
• [6] Alayali Y., Topcu S., Chassagne L., Viennet J.: Compenstion of the thermal influence on a high accuracy optical fibre displacement sensor, Sensors and Actuators A120 (2005), 343-348
• [7] Binu S., Mahadevan Pillai V.P., Chandrasekaran N.: Fibre optic target reflectivity sensor, Opt Quant Electron 39 (2007), 747-752.