Mikropompa dla urządzeń nanoelektroniki próżniowej

• Autorzy: Grzebyk T. , Górecka-Drzazga A.

Warianty tytułu

EN

Micropump for nanoelectronics devices

• Języki publikacji: PL

Abstrakty

PL

Rozwój urządzeń nanoelektroniki próżniowej jest ograniczony brakiem możliwości wytworzenia wysokiej i ultra wysokiej próżni w objętości mniejszej niż 1 cm3. W pracy przedstawiono konstrukcję i technologię mikropompy jonowo-sorpcyjnej, która może być zintegrowana z każdym urządzeniem wytworzonym technikami mikroinżynieryjnymi. Wykonano struktury testowe mikropompy i zmierzono ich właściwości.

EN

The development of vacuum nanoelectronics devices is limited due to an unsolved problem of high and ultrahigh vacuum generation inside cavity smaller than 1 cm3. In the work construction and technology of the ion-sorption vacuum micropump, which can be integrated with each microdevice that is fabricated using microingineering techniques, is described. The test structures of the micropump have been produced and preliminary characterized.

Słowa kluczowe

PL

polowe źródło elektronów; emisja polowa; mikropompa; mikroinżynieria

EN

field-emission electron source; field emission; micropump; microingeenering

• Wydawca: Wydawnictwo SIGMA-NOT
• Czasopismo: Przegląd Elektrotechniczny
• Rocznik: 2012
• Tom: R. 88, nr 10b
• Strony: 114--116
• Opis fizyczny: Bibliogr. 17 poz., rys.

Twórcy

autor

Grzebyk T.

autor

Górecka-Drzazga A.

• Politechnika Wrocławska, Wydział Elektroniki Mikrosystemów i Fotoniki, ul. Janiszewskiego 11/17, 50-372 Wrocław,

Bibliografia

• [1] Górecka-Drzazga A., Mikro- i nanoemitery polowe, Oficyna Wydawnicza Politechniki Wrocławskiej, Wrocław 2008
• [2] Ahn S., et al., Development of 3.5-inch full-color field emission display panels in the low and high voltage packaging, Technical Digest of IVMC 1999, 28-29.
• [3] Liang, X. H. ; Deng, S. Z. ; Xu, N. S. , Flat-panel luminescent lamp using carbon nanotube cathodes, Journal of Vacuum Science & Technology, 21 (2003), n.4, 1727-1729
• [4] Whaley D. R., Gannon B. M., Smith C. R., Armstrong C. M., Spindt C. A., Application of field emitter arrays to microwave power amplifiers, IEEE Transactions on Plasma Science, 28 (2000), n.3, 727-747
• [5] Koops H., Al-Mudhafar A., Hartnagel H., Miniaturized THZ source with free-electron beams, Technical Digest of IVNC 2011, 236-237
• [6] Smith B.C., Hunt C.E., McLeod C.A., A field-emission monochromatic micro-x-ray source, Technical Digest of IVNC 2011, 111-112
• [7] Volklein F., Meier A., Microstructured vacuum gauges and their future perspectives, Vacuum, 82 (2008), 420-430
• [8] Chen L., Wen Z.-Y., Wen Z.-Q., Liu H.-T., A novel MEMS field emission accelerometer based on silicon nanotips array, Proc. SPIE 8191, 2011, 819127
• [9] French P. J., Kenyon A. J., Garner D. M., A planar CMOS fieldemission vacuum magnetic sensor, IEEE Transaction on Electron Devices, 56 (2009), n.4, 692-695
• [10] Busta H., Amantea R., Furst D., Ling C., White L., Chen J., MEMS direct view infrared vision system (DVIR) with FED readout, Technical Digest of IVNC 2000, 232-233
• [11] Masuzawa T., Kato R., Onishi M. et al., Ultraviolet photodetector using a-Se anode and diamond cold cathode, Technical Digest of IVNC 2011, 202-203
• [12] Wang Z. L, Gao R. P., Heer W. A. D., Poncharal P., In-situ imaging of field emission from individual carbon nanotubes and their structural damage, Appl. Phys. Lett. 80, 5 (2002) 856-858.
• [13] Long-term stability of vacuum-encapsulated MEMS devices using eutectic wafer bonding, Public report of VABOND project, IST-2001-34224.
• [14] Jourdain A., De Moor A., Pamidighantam P., Investigation of the hermeticity of BCB-sealed cavities for housing RF-MEMS devices, Micro Electro Mechanical Systems 2002, Proc. The Fifteenth IEEE International Conference, 677-680
• [15] Page films brochure_2007_1069, http://www.saesgetters.com/
• [16] Koops H., A miniaturized orbitron pump for MEMS applications, Technical Digest of IVNC 2005, 364-365
• [17] Grzebyk T., Stasiak P., Górecka-Drzazga A., Vacuum in microsystems – generation and measurement, Optica Applicata, 41 (2011), n.2, 389-394