Sterowanie i pomiar planarnych aktuatorów elektrostatycznych

• Autorzy: Palczyńska A. , Ekwińska M. , Janus P. , Grabiec P. , Gotszalk T.

Warianty tytułu

EN

Metrology and control of planar electrostatic actuators

• Języki publikacji: PL

Abstrakty

PL

W niniejszym artykule zostały opisane badania dwóch typów planarnych aktuatorów elektrostatycznych. Przedstawiono zasadę działania aktuatorów z uwzględnieniem zjawiska przyciągania elektrod. Zaprezentowano obliczenia podstawowych parametrów mechanicznych takich jak stałe sprężystości i częstotliwości rezonansowe. Porównano ponadto charakterystyki uzyskane dwiema metodami – z zastosowaniem interferometru światłowodowego, a także światłowodowego czujnika zbliżeniowego. Omówiono wady i zalety wymienionych metod w odniesieniu do badanych aktuatorów.

EN

In this article investigations of two types of planar electrostatic actuators are described. The principle of actuator operation is explained. The basic parameters of the analysed system are calculated, including spring constant and resonant frequency. The characteristics measured with Fabry-Perot interferometer and fiber proximity sensor system are compared. The advantages and disadvantages of measurements planar electrostatic actuators with these two methods are described.

Słowa kluczowe

PL

aktuatory elektrostatyczne; interferometr światłowodowy; czujnik natężeniowy; siła elektrostatyczna

EN

electrostatic actuators; fiber interferometer; proximity sensor; electrostatic force

• Wydawca: Wydawnictwo SIGMA-NOT
• Czasopismo: Przegląd Elektrotechniczny
• Rocznik: 2012
• Tom: R. 88, nr 10b
• Strony: 95--97
• Opis fizyczny: Bibliogr. 6 poz., rys.

Twórcy

autor

Palczyńska A.

autor

Ekwińska M.

autor

Janus P.

autor

Grabiec P.

autor

Gotszalk T.

• Politechnika Wrocławska, Wydział Elektroniki Mikrosystemów i Fotoniki, ul. Janiszewskiego 11/17, 50-372 Wrocław,

Bibliografia

• [1] M.H. Bao, Micro mechanical transducers, Handbook od Sensors and Actuators 8, Elsevier 2000,
• [2] J. Dolbow, M. Gosz, Effect of out-of-plane properties of film on the stress fields in microelectronic structures,Mechanics of Materials 23 (1996), p.311-321
• [3] J.I. Seeger, Charge control of parallel-plate, electrostatic actuators and the tip-in instability, Journal of microelectromechanical systems, vol. 12, no. 5, october 2003, p 656-671
• [4] V. Kaajakari, Practical MEMS, Small Gear Publishing, 2009
• [5] M. Woszczyna et al., Investigations of local electrical properties using tunneling/atomic force microscope with a quartz tuning fork nearfield sensor, Vacuum 82 (2006), 982-987
• [6] P. Zawierucha et al., Natężeniowy światłowodowy czujnik zbliżeniowy do charakteryzacji układów typu MEMS, IX Konferencja Naukowa Czujniki Optoelektroniczne i Elektroniczne, 2006, p. 443-445