Układ do pomiaru charakterystyk rezonansowych mikroprzetworników wysokoczęstotliwościowych

• Autorzy: Małozięć G. , Nieradka K. , Kopiec D. , Ritz Y. , Zschech E. , Gotszalk T.

Warianty tytułu

EN

Setup for measuring the resonance characteristics of high-frequency microtransducers

• Języki publikacji: PL

Abstrakty

PL

W niniejszym artykule opisany został układ do pomiaru charakterystyk rezonansowych dźwigni krzemowych. Omówiona została metoda uzyskiwania mikrodźwigni sprężystych. Opisana została budowa specjalizowanego układu optycznego do detekcji ugięcia mikrobelek oraz zasada detekcji ugięcia. Przedstawiona została również nowa metoda pomiarowa, polegająca na wykorzystaniu modulowanej wiązki światła do pomiaru parametrów przetworników o wysokich częstotliwościach rezonansowych.

EN

In this paper we describe a system for measuring the resonance characteristics of the silicon cantilever. The method of preparation spring cantilevers is presented. The construction of a specialized optical system to detect the deflection of the cantilevers and the principle of detection the cantilevers deflection is described. The new method based on the modulated laser beam, to measure characteristics of the high frequency transducers, is presented.

Słowa kluczowe

PL

mikrodźwignia; mieszacz częstotliwości; modulacja; laser

EN

microcantilever; frequency mixer; modulation; laser

• Wydawca: Wydawnictwo SIGMA-NOT
• Czasopismo: Przegląd Elektrotechniczny
• Rocznik: 2012
• Tom: R. 88, nr 10b
• Strony: 64--66
• Opis fizyczny: Bibliogr. 6 poz., rys.

Twórcy

autor

Małozięć G.

autor

Nieradka K.

autor

Kopiec D.

autor

Ritz Y.

autor

Zschech E.

autor

Gotszalk T.

• Wydział Elektroniki Mikrosystemów i Fotoniki, Politechnika Wrocławska, ul. Janiszewskiego 11/17, 50-372 Wrocław,

Bibliografia

• [1] Yang Y.T., Callegari C., Feng X.L., Ekinci K.L., Roukes M.L., Zeptogram-Scale Nanomechanical Mass Sensing, Nano Letters, Vol. 6, No. 4, 2006, pp. 583-586
• [2] Naik A.K., Hanay M.S., Hiebert W.K., Feng, X.L, Roukes M.L., Towards single-molecule nanomechanical mass spectrometry, Nature Nanotechnology, Vol. 4, 2009, pp. 445-450
• [3] Arlett J.L., Maloney J.R., Gudlewski B., Muluneh M., Roukes M.L., Self-Sensing Micro- and Nanocantilevers with Attonewton-Scale Force Resolution, Nano Letters, Vol. 6, No. 5, 2006, pp. 1000-1006
• [4] Ekinci K.L., Roukes M.L., Nanoelectromechanical systems, Review of Scientific Instruments, 76, 061101, 2005
• [5] Mo Li, Tang H.X., Roukes M.L., Ultra-sensitive NEMS-based cantilevers for sensing, scanned probe and very high-frequency applications, Nature Nanometrology, Vol. 2, 2007, pp. 114-120
• [6] Shagam M.Y., Nanomechanical displacement detection using fiber optic interferometry, Dissertation, B.S. University of New Mexico, 2006