Effect of the electrode form on the MEMS structure parameters

• Autorzy: Sulima R.

Warianty tytułu

PL

Wpływ kształtu struktury MEMS na jej parametry

• Języki publikacji: EN

Abstrakty

EN

Electrostatic systems with linear and angular movements are compared in this paper. Variants with rectangular and rounded up comb fingers are considered. A field analysis is performed using the 3D models of the relevant comb structures. Calculations and comparison of results show an insignificant effect of the change in microstructure form on the parameters of the system.

PL

Artykuł przedstawia porównanie układów elektrostatycznych grzebieniowych o ruchu liniowym i kątowym. W przypadku ruchu liniowego rozpatrywano przypadki zębów prostokątnych i zębów zaokrąglonych. Przeprowadzono analizę polową z wykorzystaniem modelu 2D i 3D wymienionych konstrukcji grzebieniowych. Obliczenia i porównanie wyników wykazują nieznaczny wpływ zmiany kształtu mikrostruktury na parametry układu.

Słowa kluczowe

EN

MEMS; comb drive; optical switches

PL

MEMS; napędy grzebieniowe; przełączniki optyczne

• Wydawca: Wydawnictwo SIGMA-NOT
• Czasopismo: Przegląd Elektrotechniczny
• Rocznik: 2012
• Tom: R. 88, nr 10b
• Strony: 11--13
• Opis fizyczny: Bibliogr. 5 poz., rys., tab.

Twórcy

autor

Sulima R.

• Instytut Elektrotechniki, Zakład Maszyn Elektrycznych, ul. Pożaryskiego 28, 04-703 Warszawa,

Bibliografia

• 1. Jensen B.D., Mutlu S., Miller S., Kurabayashi K., Allen J.J., Shaped comb fingers for tailored electromechanical restoring force, IEEE/ASME Journal of Microelectromechanical Systems, Volume: 12 Issue: 3, June 2003, 373 - 383
• 2. Patterson P.R., Hah D., A scanning micromirror with angular comb drive actuation, Oral-presented at the Fifteenth IEEE International Conference on Micro Electro Mechanical Systems (MEMS 2002), Las Vegas, Nevada, USA, January 20-24, 2002, 544-547
• 3. Sulima R., Wiak S., Modelling of vertical electrostatic combdrive for scanning micromirrors, COMPEL, Vol. 27 no 4, 2008, 780-787
• 4. Sulima R., Modelling the optical element of the OXC switching device based on an angular electrostatic MEMS drive, Prace Instytutu Elektrotechniki, vol. 231, 2007
• 5. Sulima R., Structure of an electrostatic microswitch for OXC applications, Przegląd Elektrotechniczny, 85 (2009), nr 9, 350-354